相位测量轮廓术中结合几何标定de非线性校正期刊文献.pdfVIP

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第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 27 7 Vol.27 No.7 年 月 , 2015 7 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul. 2015 Nonlinearitcalibrationincororatedwith eometrical y p g * calibrationfor hasemeasurin rofilometr p gp y 1 1 1 2 2 , , , , LiuKai Lon Yunfei Wan Shuaiun WuWei Yan Xiaomin g g j g ( , , , ; 1.Schoolo ElectricalEnineerin andInormation SichuanUniversit Chendu610065 China f g g f y g , , , ) 2.Colleeo ElectronicsandInormationEnineerin SichuanUniversit Chendu610065 China g f f g g y g : , , , Abstract Inthis aer we resentanalorithm whichisincororatedinto eometricalcalibration to pp p g p g accuratelandefficientlcalibrateandcorrectthenonlinearit.The roosedmethodutilizeshasetoobtainthe y y y p p p intensitcorresondencesbetween roected atternsandrecordedimaes.Basedontheintensit correson y p p j p g y p -

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