多层介质金属紫外滤光膜系的辐照损伤特性.pdfVIP

多层介质金属紫外滤光膜系的辐照损伤特性.pdf

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第 卷第 期 原 子 能 科 学 技 术 ! ! # $%’!(%’# ! 年 月 )**+ ,-%./01234 70/3203829:30;2%% (%’)**+ ! 56 56 多层介质金属紫外滤光膜系的辐照损伤特性 吴永刚 焦宏飞 曹 鸿 张 莉 付联效 彭东功 郑秀萍 ! ! ! ! ! ! 同济大学 精密光学工程技术研究所!上海 # )***=) ! , $ ( 摘要 利用电子束蒸发方法制备用于O8W 晶体慢成分滤光的多层介质 金属紫外滤光膜系 在 射线 ) # 中子和激光辐照环境中研究薄膜的损伤特性 结果表明 薄膜对 射线和中子具有优良的耐辐照特性 $ # % ! ! ! 在激光辐照环境中 薄膜的激光损伤阈值受多层薄膜中金属层的影响 激光入射时 最先辐照到的金属 层的厚度决定了多层薄膜的耐激光辐照损伤特性$ 关键词 晶体 多层膜 介质 金属薄膜 滤光膜 辐照损伤 ! % % , % % O8W ) 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # !Y!’! , ***@#=A)**+*#@*+)=@*? ! ! ! ! ! ! , G51-10(-/H1/*)*+I/(2(0-/04(122/04$2/21(-J. 3/2(- 8 ! --1/1(6 K-1 ,($-*)1)L1%(-M(1’% ! 8 8 ! ! ! ! ! ^F G%2 @82 JC, M%2 @P3/ D, M%2 dM,(K E/ WF E/82@R/8% 55 5 5 5 ! S1(K ‘%2 @%2 dM1(K B/I@/2 55 5 N 5 !

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