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紫外激光器及其在激光加工中的应用
综合
评述 激光器 Vol.44, No.8
Review Aug. 2007
紫外激光器及其在激光加工中的应用
Ultraviolet Laser and Its Application in Laser Processing
娟 廖健宏 蒙红云 张庆茂 周永恒 刘颂豪
(华南师范大学 光子信息技术广东省高等学校重点实验室，广州 510006)
TANG Juan LIAO Jianhong MENG Hongyun ZHANG Qingmao ZHOU Yongheng LIU Songhao
(Key Laboratory of Photonic Inf ormation Technology, South China N ormal University, Guangzhou 510631)
摘 要 紫外激光的波长短，能量聚集集中，分辨率高，特别是具有“冷加工”的特性，能直接破坏连接物质的化
学键，而不产生对外围的加热，因此成为加工脆弱物质的理想工具，并能对多种材料进行打孔、切割、
烧蚀，在微加工领域中具有广泛的应用。简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状，并讨
论了它在激光加工中的应用
关 键 词 紫外激光器；激光加工；微加工
Abstract The advantages of ultraviolet (UV) laser include short wavelength, concentrated energy , high
resolution, especially its cold processing properties. The UV laser can destroy the chemical bond
of matter directly but not give rise to external heating, and become an ideal tool for processing
fragile material. It is able to carry out drilling, cutting and ablating on various materials, and it has a
wide application in the field of micro -machining. The fundamental principle, main characteristics
and development of several UV lasers are introduced, and the application of UV laser in laser
processing are also analyzed.
Key words ultraviolet laser; laser processing ; micro-machining
中图分类号 TN248
1 引言 在电子线路板上钻微孔、在薄膜 成原子的过程是一个“冷”过程，
自 世纪激光问世不久，激 或薄片材料中制作微通道、进行 不产生对外围加热 该特性使紫
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光加工技术就受到人们的重视， 精密切割和对接等微加工领域具 外激光器成为加工薄橡胶和塑料
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