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Thesis for Master of Shanghai Jiao Tong University
STUDY OF SMA MICRO-ACTUATOR AND BI-STABLE
MEMS RELAY
Candidate: Yapan Wang
Student ID: 1073409022
Advisor: Professor Chunsheng Yang
Associate Professor Congchun Zhang
Major: Microelectronics and solid-state electronics
Shanghai Jiao Tong University
January 2010
SMA微驱动器及双稳态MEMS继电器的研究
摘 要
本文研究了一种微驱动器及继电器,其设计原理采用基于机械操纵触点导通的
机电方式,制作采用 MEMS 微细加工工艺,单个器件的整体尺寸仅为 10mm×5mm
×1mm (硅基底上制作)。它主要由对称分布的两个微驱动器和对称结构的永磁双
稳态结构构成。微驱动器驱动后推动中间的十字形扭梁,可以实现两端电路通断的
切换;通过下部永磁体和磁回路结构,可以实现电路闭合时的稳态的保持,从而实
现低功耗的双稳态机制。
本文使用射频磁控溅射法在硅片上溅射沉积了 TiNi 形状记忆合金(shape
memory alloys ,简称 SMA)薄膜,测试表明该薄膜具有比较好的形状记忆效应。在
此基础上,通过 Ansys 仿真设计并制作了一种 TiNi/Si 复合膜结构和一种 TiNi/PI 复
合膜结构的微驱动器。TiNi/Si 复合膜结构的微驱动器的测试结果表明,在室温下,
微驱动器的悬臂梁是平直的,在 2.0V 脉冲电压,1~6HZ 工作频率下,微驱动器的
悬臂梁可以产生驱动,达到良好的驱动效果,此时功耗为 20mW 。
最后在以上研究的基础上,整合了 SMA 微驱动器和永磁双稳态机构的制造工
艺,采用热驱动器下置的结构,大大简化了牺牲层释放过程。在玻璃基底上,采用
Cu 牺牲层,初步完成了热驱动器下置的继电器的加工制作,并使用台阶仪,Veeco
D-MEMS 动态轮廓仪,扫描电镜进行了表面形貌分析。
关键词:微机电系统(MEMS );继电器;TiNi 基形状记忆合金薄膜;ANSYS 仿真;
微细加工工艺
I
STUDY OF SMA MICRO-ACTUATOR AND BI-STABLE
MEMS RELAY
ABSTRACT
In this paper, a permanent magnet bistable micro-relay was studied, it was designed
based on the mechanism of metal contacts conduction of electromechanical relays.
And it was fabricated using MEMS micro-machining techniques; the overall size of a
single device was only 10mm × 5mm × 1mm (produced on silicon substrates ). The
device consists of a pair of electrothermal actuators, a leveraged permalloy cantilever
beam suspended by two supporting torsion flexures, and a bistable system. The switch
of the circuit can
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