改进的MEMS陀螺静态误差模型及标定方法.pdfVIP

第 28 卷第 6 期 宇 　航 　学 　报 Vol . 28 No .6 2007 年 11 月 　 Journal of Astronautics November 　2007 改 进 的 MEMS 陀 螺 静 态 误 差 模 型 及 标 定 方 法 李建利 , 房建成 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 , 北京 10008 ) ( ) 　　摘 　要 : 静态干扰力矩造成的陀螺角速度测量误差是 MEMS Micro Electromechanical System 陀螺主要的误差源 之一 ,为了增强MEMS 陀螺的抗干扰能力 ,根据外框架驱动式 MEMS 陀螺工作原理 、具体结构 ,针对比力引起的干扰 力矩 ,采用解析 的方法分析了陀螺静态 误差 ,结合试验法确定了陀螺静态误差数学模 型 ,讨 论了各误差 项的物理起 因及误差影响大小 ,论证了静态多位置法不能标定陀螺与比力平方有 关误差 项 ,提 出了改进的陀螺静态误差数学 模型 ,设计了 10 位置静态误差标定方法 。试验结果表明 :补偿后陀螺在 10 个静态位置的误差平均值和均方 差分别 为补偿前的 0 . 8 %和 40 % ,提高了陀螺实用精度 ,为 MEMS 陀螺的精确标定 、补偿提供了理论依据 。 关键词 : 微机 电陀螺 ; 静态误差 ; 比力 ; 标定 ; 补偿 ( ) 中图分类号 : O 18 . ;V241. 6 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :100021 28 2007 0621614205 本文在现有研究基础上 ,根据外框架 驱动式 MEMS 0 　引言 陀螺工作原理 、结构 、工艺和 引起漂移 的物理机制 , 陀螺是惯导系统的核心器件 ,决定了惯导系统 采用解析 的方法 ,针对线加速度 、重力引起的干扰力 [1 ,2 ] ( 的工作精度 。随着 MEMS Micro Electromechanical 矩 ,分析每项误差 的内、外因素及其定量关系 ,结合 ) System , 微机电系统 技术 的发展 ,低成本 、小体积 、 试验测试法构建 了陀螺静态误差数学模型 ,并论证 低功耗 的硅 MEMS 陀螺 已广泛应用于微纳卫星的姿 了静态多位置无法标 定陀螺与 比力平 方有关误差 态测量系统 ,是未来航天领域最主要 的角速度传感 项 ,提 出了满足实际应用 的改进静态误差模型 。设 器之一[ ,4] 。由于硅 MEMS 陀螺自身工作原理 、结构 计了 10 位置静态标定方法 ,通过补偿提高了陀螺抗 及制造水平等内因所 限 ,存在着一系列固有误差源 , 干扰能力及实用精度 。 在线运动等外部条件激励下就会产生角速度测量误 [5 ,6 ] 1　结构及工作机理 差 。因此必须构建其静态误差数学模型 ,设计准 确的系统误差补偿方法 ,通过误差软件补偿提高器 外框驱动式MEMS 陀螺 的结构如 图 1 所示 ,主 件精度[7 ] 。文献 [8 ]较早提 出了双框架角振动式硅 要包括内、外框架 ,