《《光学薄膜设计及Macleod软件使用-齐红基博士》》.pdf

光学薄膜设计、分析及 Macleod软件使用 齐红基 2007年10月8 日 1 主要内容 光学薄膜几个基本概念及性质 光学薄膜与薄膜波导 光学薄膜的性能计算 渐变折射率（Rugate ）薄膜 薄膜的偏振与位相特性 等效折射率、等效导纳和等效界面 超快系统中薄膜的色散及色散补偿 薄膜的应力与应变 2 主要内容 Macleod软件介绍 优势及特点 模块组成 各类文件 各类菜单及对话框介绍 各模块介绍 膜系的分析设计工具 光学常数提取方法 单层薄膜 基片 3 主要内容 几类常规光学薄膜设计实例 V型、W型及宽带增透膜 高反射薄膜设计 滤光片设计（截止、带通滤光片） 偏振膜（平板型、棱镜分光型） Rugate膜 4 理想光学薄膜 光学薄膜 改变光束切向方向－薄膜波导 改变光束法向方向－光学薄膜 355nm 1064nm 薄膜波导 增透薄膜 高反射薄膜 5 理想光学薄膜 薄膜光性计算方法 等效界面法 特征矩阵法 等效界面法 6 特征矩阵方法 界面b 的计算如同单界面计算，基底 侧没有反向行进光波，另外，电场和 磁场均用切向分量表示。此时， 利用上式可得到： “ ＋”号表示正向行进波，“ －”号表示负向行进波。 7 特征矩阵方法 + + − iδ − − iδ 同一时刻，a界面相同坐标点 E E e E E e 1a 1b 1a 1b 上式中 因此， 特征 矩阵 矩阵表示为：