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《《光学薄膜设计及Macleod软件使用-齐红基博士》》.pdf
光学薄膜设计、分析及
Macleod软件使用
齐红基 2007年10月8 日
1
主要内容
光学薄膜几个基本概念及性质
光学薄膜与薄膜波导
光学薄膜的性能计算
渐变折射率(Rugate )薄膜
薄膜的偏振与位相特性
等效折射率、等效导纳和等效界面
超快系统中薄膜的色散及色散补偿
薄膜的应力与应变
2
主要内容
Macleod软件介绍
优势及特点
模块组成
各类文件
各类菜单及对话框介绍
各模块介绍
膜系的分析设计工具
光学常数提取方法
单层薄膜
基片
3
主要内容
几类常规光学薄膜设计实例
V型、W型及宽带增透膜
高反射薄膜设计
滤光片设计(截止、带通滤光片)
偏振膜(平板型、棱镜分光型)
Rugate膜
4
理想光学薄膜
光学薄膜
改变光束切向方向-薄膜波导
改变光束法向方向-光学薄膜
355nm
1064nm
薄膜波导 增透薄膜 高反射薄膜
5
理想光学薄膜
薄膜光性计算方法
等效界面法
特征矩阵法
等效界面法 6
特征矩阵方法
界面b 的计算如同单界面计算,基底
侧没有反向行进光波,另外,电场和
磁场均用切向分量表示。此时,
利用上式可得到:
“ +”号表示正向行进波,“ -”号表示负向行进波。 7
特征矩阵方法
+ + − iδ − − iδ
同一时刻,a界面相同坐标点
E E e E E e
1a 1b 1a 1b
上式中
因此,
特征
矩阵
矩阵表示为:
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