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《《压电薄膜技术》》.doc
压电薄膜技术
1压电薄膜概述
体材料(单晶和陶瓷)构成的压电器件因受尺寸限制,应用频率一般比较低,压电薄膜可大大提高工作频率。压电薄膜兼有单晶和陶瓷的优点:即表面光滑致密,容易制造,价格低廉,便于调变,性能可靠稳定。此外,使用薄膜,可以通过调节薄膜厚度,基片类型和电极形式来调整器件的性能。更重要的是,使用薄膜可以使压电器件到的平面化和集成化,使压电材料与半导体材料紧密结合,实现压电与载流子、声波与光波的相互作用,制成各种新型压电与声光的单片集成器件。一般压电薄膜可以通过特殊方法实现与微机电系统工艺的结合,制造成为微机电系统意义上的微型传感器和执行器。此类微型传感器贴在物体表面,在机器人上做触觉传感器可感知温度、压力,采用不同模式可以识别边角、棱等几何特征,同时这用材料具有热放电效应,可用做温度传感器。目前,压电陶瓷薄膜已经在惯性器件、声表面波器件等方面得到广泛应用,成为微定位、微驱动的主要解决方法。
常见的压电薄膜材料主要包括具有铁电性的PZT薄膜、BaTiO3薄膜等,以及不具有铁电性的ZnO薄膜、AlN薄膜等。虽然铁电薄膜的压电效应比非铁电性压电薄膜强,但使用较多的还是ZnO和AlN等非铁电薄膜。
该类非铁电性压电薄膜的始于1963年美国Bell实验室用CdS薄膜实现VHF和UHF频带的体超声波换能器的研究成果。此后,1965年采用反应溅射制备了ZnO压电薄膜。1968年Wauk和Winslow采用蒸发的方法在氮气和氨气气氛中蒸镀金属Al得到AlN压电薄膜。1979年日本的Shiosaki采用射频磁控溅射在玻璃和金属基板上制备了性能较好的AlN压电薄膜,其声表面波机电耦合系数可达0.09%~0.12%。20世纪70年代,CdS薄膜和ZnO薄膜已经走向实用化阶段。
AlN作为宽带隙的直接帯隙半导体,是一种重要的蓝紫光的发光材料。同时,因具有高热导率、高硬度、高熔点和高化学稳定性、大的击穿场强和低介电损耗,尤其是AlN与Si、GaAs等常用半导体材料的线膨胀系数相近及兼容性好等特点,AlN薄膜可用于高温、高功率的微电子器件。此外,在所有无机非铁电性压电材料中,声表面波沿AlN晶体c轴方向的传输速率最大。因此,具有良好取向的AlN薄膜可用来制作优良的声表面波器件和体波器件。
2压电效应简介
在电场作用下,晶体中的带电粒子可以相对位移而发生极化。在应力作用下,晶体中的带电粒子也发生相对位移。对某些晶体,带电粒子相对位移后正负电荷中心不再重合,因而发生极化,在其两端表面上出现符号相反的束缚电荷,并且面电荷密度与应力之间为线性关系。这种由机械应力面产生表面电荷的效应,称为正压电效应。晶体的这一性质就称为压电性。当晶体受到电场作用时它的某些方向上出现应变,且应变与场强之间是线性相关的,这种现象称为逆压电效应。
正压电效应是由于晶体在机械力作用下发生形变,而引起带电粒子的相对位移,使晶体的总电矩发生变化而造成的。晶体是否具有压电性是由晶体结构的对称情况决定的。若晶体具有对称中心,它不可能具有压电性;因为这种晶体中,正负电荷中心的对称排列不会因形变而破坏。所以,机械力的作用不能使它发生极化。具有对称中心的晶体,其总电矩始终为零,因而不可能具有压电性。
3结构初探
真空沉积的压电薄膜通常是高度多晶的。各微晶间有程度不同的错向。每个微晶就是一个小单晶。若所有微晶取向相同,并同相驱动时,则其压电效用实质上如同单晶。各微晶间的任何取向差,都会导致机电耦合系数降低,并同时产生纵波和横波。若围绕微晶的最佳取向,各微晶的无规偏向能以相互补偿。这时,只是略为降低压电耦合。若是从最佳取向,微晶的平均取向有所偏离,将导致在薄膜中同时产生出纵波和横波。因此,要得到具有优良压电性质的压电薄膜,结构上必须保证:
各微晶基本上要取向相同;
各微晶的平均取向对最佳取向的偏离程度不能太大;
各微晶取向的分散程度不能过大。
4介电性能浅析
压电薄膜的介电性能包括介电常数、介质损耗、电阻率和击穿场强。因为其介电常数影响压电薄膜换能器的静态电容量和分布电容量,所以要求介电常数要小。否则,压电器件的性能,特别是其高频性能将要显著变坏。薄膜的介质损耗是压电器件插入损耗的一个组成部分,因而希望其介质损耗要小。
压电薄膜的电阻率不但引起一部分介质损耗,而且决定着薄膜的弛豫频率,由于压电器件的工作频率要远高于弛豫频率,所以为了使压电薄膜能用于各种压电器件,特别是频率不高的器件,要求它具有很高的电阻率。另外,弛豫频率越低,才能越加显示薄膜的压电性能。
因为压电薄膜的厚度一般都很薄,所以为了保证器件的可靠性、特别是电压较高的大功率器件的可靠性,要求薄膜有相当高的击穿场强。
虽然压电薄膜为单晶薄膜或者为择优取向的多晶薄膜,但在其中原子的堆积却不像在晶体中那样紧密和有序,因此,压电薄膜的介电常数值
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