浙江省分析测试科技计划研究项目实施总结报告.pdfVIP

浙江省分析测试科技计划研究项目 实施总结报告 计划编号：2007F70018 项目名称：像散镜集成腔近红外吸收光谱技术 计划类别：分析测试科技计划项目 起止年月：2007 年10 月至2008 年12 月 申请单位：杭州电子科技大学 申请验收时间：2009 年10 月 项目负责人：高秀敏 负责人电话 填写时间：2009 年9 月 1 一、项目基本情况 计划编号：2007F70018 项目名称：像散镜集成腔近红外吸收光谱技术 计划类别：分析测试科技计划项目 起止年月：2007年10 月至2008 年12 月 申请单位：杭州电子科技大学 项目负责人：高秀敏 资助经费：3 万人民币 二、项目执行情况 本项目主要研究了基于像散反射镜的集成腔吸收光谱技术，包 括像散反射镜集成腔吸收光谱技术理论研究、集成腔吸收光谱测试 系统设计、痕量气体分析应用研究等方面研究内容。 1）像散反射镜集成腔吸收光谱技术理论研究。研究了稳定、可 靠、噪音小的激光离轴耦入技术，探索激光离轴耦入精细强的光效 率变化规律，系统研究高反射球面镜构成的高精细度强的腔模特性， 以及入射激光束与高精细度腔的模式匹配；建立了腔模效应理论研 究模型和系统特性仿真软件。探索新型高精细度腔的构成理论，提 高了反射镜面利用率，降低了激光束干涉效应，提高了吸收光谱测 量技术信噪比。本项目基于像散反射镜的集成腔吸收光谱技术测试 原理图如图1 所示。光源为频率可调的二极管激光器，高精细腔两 端有两个反射率很高的反射镜，通常高反射镜的反射率大于99%。腔 中通入被测气体，当激光束耦入到腔内时，在两个反射镜之间来回 反射，输出的携带吸收信息的光信号由光电探测器接收。由于选用 2 的反射镜的反射率很高，光在衰荡腔中来回振荡的次数很大，即吸 收光程很长，因此可以大大提高气体的检出限，实现痕量气体的检 测。 进气 出气 二极管激光器 PIN 高精细腔 透镜 锁相放大器 函数发生器 计算机 图1 基于像散反射镜的集成腔吸收光谱技术测试原理图。 当一束半导体激光穿过压力P、浓度X 和光程L 的被测气体后, 该气体对光的吸收满足Beer-Lambert 关系 ： I I exp ⎡=−αν L ⎤ ν 0 ⎣ ( ) ⎦ (1) 式中,I0为无吸收时透过的光强，α(υ)为吸收系数，与被测气体的 浓度和压力有关。如果只考虑朗伯-比尔吸收, 忽略散射等引起的损 耗。一束光强为Iv,0的光入射到腔内,透过腔的光强为： 1−R 2 exp −αν d ( ) ⎡⎣ ( ) ⎤⎦ I I 0 2