红外微测辐热计结构优化设计与制备.pdfVIP

摘要 红外探测器是应用于热成像的主要探测技术，在国防、航天领域具有重要的 战略意义。作为当今非制冷热成像的主流技术，氧化钒(Vox)微测辐射热计焦 平面成像阵列具有重量轻、成本低，且符合单兵作战装备要求等优点，成为世界 各国许多商业机构和研究单位竞相开发的目标。但是，焦平面阵列制备涉及集成 电路设计、红外光学、薄膜生长、MEMS工艺等众多技术，是一项复杂的系统 工程。 本文针对红外微测辐射热计器件结构优化设计、薄膜生长以及器件制备工艺 进行研究，成功地制备出具有微桥结构的、熟敏材料为V0x的微测辐射热计像 具有红外响应特性。本文主要工作如下： l。为提高器件的红外吸收率及其响应度，本文对器件结构进行优化设计。 以光学导纳矩阵原理为理论基础，采用从头算的方式获得器件的红外吸收特性， 结果表明当反射层与吸收层间距取2．5呻时器彳牛的平均吸收率最大；采用ANSYS 有限元软件定量分析桥臂宽度及引线材料对器件热学及热形变特性的影响，表明 减小桥譬宽度、降低材料热导率是提高器件红钋响应特性、获得平整桥谣结构的 重要途径。 2。薄膜生长技术是微测辐射热计的关键技术，本文以制备高电阻溢度系数 (TCR)的热敏VO。为研究目标，采用反应电子束蒸发工艺，通过退火提高薄膜