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Yb：Er共掺材料光致发光特性理论与应用研究 摘 要 三价稀土铒离子在光放大器、激光器、彩色显示器和温度传感 器等领域存在着巨大的应用潜力，对掺铒材料的制备和发光机理等 方面的实验和理论研究有着重要的意义。 首先，用中频磁控溅射方法在Si02／Si基底上制备了镱铒共掺 A1203薄膜，讨论了沉积时问、样品偏压和退火等工艺参数对薄膜 样品的表面形貌、光致发光特性的影响。结果表明：不同工艺参数， 沉积薄膜中铒镱颗粒分布的均匀性、荧光谱的半值宽度、功率谱均 压、经900℃、120rain退火。 其次，考虑激发态吸收、两级合作上转换和交叉弛豫等非线性 效应，建立了镱铒共掺氧化铝材料体系八个能级的速率方程，和镱 铒共掺硅酸盐玻璃材料九个能级的速率方程，分别唯象地构造了三 种上转换系数随镱铒掺杂浓度的变化函数，数值分析了(1)Yb：Er： 系。掺铒浓度增加，存在一个最佳的镱掺杂浓度；最佳的镱铒浓度 比值随抽运功率的增强而下降；优化的镱铒浓度比值随掺铒浓度的 光强度与掺杂浓度、抽运功率的变化关系。当掺Yb3+离子浓度增 加时，对于1530nm荧光来说，有一最佳的掺Yb“浓度，但对于红 光荧光强度和绿光荧光强度却是一直增加的； Er3+离子浓度增加 时，或抽运功率增加，三种荧光荧光强度都是一直增加的。 再次，介绍了掺铒、镱铒共掺硅酸盐玻璃样品的制备工艺；分 析了基于荧光强度比光学温度传感器的工作原理；测量了两种玻璃 敏温度传感器、温度测量系统地研制提供参考依据。 最后，对掺铒材料未来的研究方向进行了展望。 关键词：镱铒共掺材料；光致发光特性；制备工艺；数值模拟；温 度特性 Yb：Er共掺材料光致发光特性理论与应用研究 Abstract Trivalenceionoftherareelementerbium is ofcOnsiderablc in as fields，such applicationpotentialmany optical and SOon．Itis to displaytemperaturesensor，and significant investigate andluminescence preparation mechanismof materials Er-doped and experimentallytheoretically． filmswere onthe A1203 Firstly,Yb：ErCO·doped preparedSi02／Si substratemedium the influence by frequencymagnetronsputtering．The ofthe technical bias parameters，includingsputteringtime，sample and surface and voltageannealing，ontopograph