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NbN薄膜的制备及等离子体诊断 摘要 为了解决核材料铀的腐蚀磨损导致的失效问题，本论文首先用朗缪尔探针对新 颖的双谐振腔微波ECR多功能等离子体源离子注入(PSII)系统进行了等离子体诊 断，然后根据诊断结果，以4511钢作为替代品，在其表面上以及硅片(100)上采用 微波ECR等离子体增强直流反应非平衡磁控溅射的方法制备了氮化铌(NbN)薄膜， 同时用发射探针(OES)对实验条件下空间的等离子体成分进行了诊断，最后采用X (AFM)、电子探针(EPMA)以及、显微硬度、摩擦磨损和阳极极化等方法对制备的 薄膜进行了薄膜结构、表面形貌、硬度、磨损和腐蚀特性等方面的表征和分析。 本论文得到的结论如下： 1朗缪尔探针对真空室内会切场中等离子体的诊断：1)反应腔内电子温度变化 范围在4．5—8．5eV之间，等离子体密度维持在10”cm。的量级上。2)随着工作气体 压强的增加，等离子体密度和电子温度减小。3)随着微波功率的增加，等离子体密 度和电子温度增加，且其变化呈现阶段特征。4)在真空室的轴向，等离子体密度在 两个十几厘米的区域内是较高且较均匀的。5)会切场中心的等离子体密度较低。 2发射探针对等离子体的诊断：等离子体中含有Nb的激发态原子、Ar的激发态 原子以及离子和N：的分子离子；随着N。流量的增加，出现了靶中毒现象。 3调整N：流量和基片偏压，制备一系列的NbN薄膜，通过表征和分析发现： 1)随着N。的流量的增加，薄膜结构、成分以及性能的变化趋势。 (1)薄膜的晶体结构发生变化，由六方结构的B—Nb：N相和立方结构的6一hbN相 的混合相向六方结构的NbN。。；相转化，且择优取向明显。 (2)薄膜沉积速率降低，薄膜中N／Nb百分比增加，薄膜的表面形貌出现不平整的 区域。 (3)薄膜的微观形貌可以看出，钢基片上薄膜生长为岛状生长模式，硅基片上薄 膜由没有明显趋势向岛状生长模式转化，随着流量的增加，表面岛尺寸变小，表面 均方根粗糙度先增大后减小。 (4)薄膜的硬度和磨损性能比45tt钢基片本身有所提高，但随着流量的增加，这 些性能都有所降低，摩擦系数变大。 (5)薄膜的腐蚀电位随着流量的增加，先增大后减小，在2sccm处达到最大，此 时得到的样品的耐腐蚀能力最佳。 2)随着基片偏压的增加，薄膜结构、成分以及性能的变化趋势。 (1)薄膜的晶体结构发生变化，由四方结构的Nb。N。相和六方结构的NbNo。。相的混 合相转化为单相的六方结构NbN。。 (2)薄膜沉积速率先增加后降低，薄膜中N／Nb百分比分阶段变化，薄膜的表面形 貌随着溅射效应的增强而出现较多缺陷。 NbN薄膜的制备及等离子体诊断 (3)薄膜的生长模式为明显的岛状生长模式，随着偏压的增大，表面岛尺寸减小， 晶粒细化。表面均方根粗糙度总体呈降低趋势，后来略有升高。 (4)薄膜的硬度随着偏压的增大而降低，磨损性能在一40V时表现最佳，摩擦系数 随着偏压增加而变大。 (5)薄膜的腐蚀电位随着偏压的增大而降低，耐腐蚀性能下降。 关键词：氮化铌薄膜朗缪尔探针发射光谱偏压 NbN薄膜的制蔷及等离子体诊断 Abstract Inthis the istosolvethe ofnuclear paperpurpose problem material U’erosionand wearandtear．Ac firstthemicrowave in the fieldis withthe to according cusp diagnosed Langmuirprobe．Secondly