x射线超反镜的设计、制备与检测.pdfVIP

摘要 摘要 关键词：X射线超反射镜，数值优化，短波长，磁控溅射 近年来，随着多层膜技术的深入发展，多层膜反射镜已在软x射线天文 望远镜，软x射线显微术，x射线投影光刻，同步辐射，等离子体诊断等许 多领域内成功的获得了应用。但这些多层膜基本上工作在极紫外和软x射线 波段。随着科学技术发展的需要，人们迫切需要在硬X射线波段建立相应的 光学元件，拓展X射线光学元件的应用范围。有鉴与此，我们在国内率先展 开了硬x射线波段光学元件——x射线超反射镜的研究。 本文从材料在硬x射线波段的光学特性出发，讨论了x射线超反射镜的 设计方法：x射线多层膜的材料选择以及膜层数的确定；x射线多层膜光学性 能的模拟计算，讨论了表界面粗糙度对反射镜反射率的影响；讨论了对宽带 (角度和带宽)多层膜结构进行数值优化的方法，采用理论解析法与数值优化 的方法相结合，成功设计出了工作在cu的K。处的C／W超反射镜结构。 从光学多层膜的制备方法出发，本文选择使用磁控溅射的方法作为x射线 超反射镜的制备。在原来的膜厚控制方法基础上，在溅射速率定标过程中，引 入了误差因子，提高了定标精度；经过大量的实验研究，确定了较佳的工作参 数，制备出了W／C超反射镜。 本文采用了x射线小角衍射的方法测量了超反射镜的光学性能，反射镜的反射 率曲线与理论计算结果符合较好，完全满足实际需要。 本文得到国家自然科学基金的资助。 兰型垡塑垦型塑堕堂生：型鱼兰塑!里! Abstract Words：hard Key x—ray supermirror，number optimize，short sputter Inrecent the of years，with multilayer multilayer development technology，the mirrorhas usedinthefields been of successfully X-ray astronomytelescope，X—ray andsoon microscopy，X-rayprojectlithography，synchrotron，plasmadiagnosis But thesekindsof workatsoft radiation，Withthe of multitayer X-ray developing scienceand are technology，thecorresponding opticalcomponentsrequired workathard extendthe ofX— exigently，which radiation，for X—ray applyingrange this havestartedtheresearchin