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二氧化钒薄的制备与光学特性研究
摘要
本文采用射频磁控溅射的方法在多种衬底材料上沉积了高品质的
V02薄膜，利用XRD分析了V02薄膜的微结构，利用傅立叶变换红外光
谱仪对热色V02薄膜的光学性质进行了研究，发现特定温度下V02薄膜
发生相变，其光学性质随之发生突变；探索了非理想配比对V02薄膜的
喇曼光谱的影响，讨论了非理想配比导致V02薄膜喇曼光谱变化的原
因；还对PcNi／V02复合膜的热色性进行了研究，通过对比分析发现，
于V02膜的热色性和相变温度都没有改变．
关键词：二氧化钒，薄膜，透射光谱，热色性，理想配比与非理想配
比，酞菁
ABSTRACT
Inthis thinfilmsare onverities
V02 of
thesis，highquality deposited
substratesThe of thin
microstmcturesfilmsarestudiedwimXRD．The
V02
ofthermoctuomicthin havebeen
properties 902 films investigated
by
FT-IR induced transitionof films
spectroscopyThermallyphase V02
occurredatacertain with in
temperature，associatedabruptchanges
optical
of onRaman of
properties．Influence
nonstoichiometry
scatteringV02
filmshas
been is
evidence and
analyzed．The the
experimental presented
reasonfor Oil
Raman of films
nonstoichiometrydependence V02 is
spectra
discussed．ThethermochromismofPcNi／V02 have
also
multilayer-films
been
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