光导波显微术的研究.pdfVIP

摘 要 获搿赢分辨率、毫对比攫的霰微图缘～蕊怒太{f】不颧追求的爨标。光导 波显微技术一项颇疑iiif景的新技术。光导波撼微术的特点怒以导波场探测微 小物体，即在激发袭iiii等离了波结构的基7ij|；一卜，在金属薄膜表面再涂～层有 秘薄黢，形或巍学波激发结掏，簸玻显徽图像。本论文玎疑了光导波鼹微技 术的研究，取得的主要研究结采如下： 1)从理论上分析了光导波照微的工作原理。 2)磺究了毙导波灏衰减全笈瓣魏线豹拳宽攫(17箨嘲)与有掇薄羧 厚度的燹化关系，甄提高显微闰苏的分辨率与对比度。 3)对导波显微的衰减全反射结构进行了澈进。 关键词：显微、光辱波、表面镣离子波、分辨率 Abstract Scientists rsue resolutionand alwayspu high high contrast．Optical isanew basedOilSPM． glasswaveguidesmicrocopypromisingtechnology The of is pointopticalglasswaveguides microcopydetectingtinyobjectby waveguides with metalfihnwith field．CompariedSPM，covering organicfilm， opticalwaveguides reviewsthe．state．of． microcopygainspicture．Thispaper the‘art and opticalglass ofthe waveguidespresentsprospective developments addition，tire is technology．In microcopy technologybriefly． Inthe method tilecharacteristics paper，thegeneral of analyzing Optical hasbeenusedto tire glasswaveguides researcheffectofchemic microcopy materialonthelateralresolution．Tilemain areasfollows： parts thebaseofthe fabrication ofthe 1)At methods，tile