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近场光学显镜光纤探针的研制
摘要
Ne小field
近场光学显微镜的发明(scanmng Optical
Scanning0ptical
人类在今后可以用光学方法在小于亚微米的尺度上观察和研究物体的外观形貌和内在
性质。
本文围绕着近场光学显微镜的关键部件——光学探针进行论述。介绍了不同光学探
针的特性及其制作工艺。其中着重阐述了热拉伸与化学腐蚀相结合制备AF/PsTM(原
子力/光子扫描隧道显微镜)双功能弯曲光纤探针的方法,从仪器和实验参数两个方面研
究了如何改善光纤探针性能(包括尖端直径、锥角、悬力臂直径等因素)并得到实验验
证。将双功能弯曲光纤探针应用于AF/PSTM系统中。可同时获得样品的光学与形貌图
像,实现图像分解。
关键词;近场光学,AF/PsTM,光纤探针,热拉伸,化学腐蚀
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第一章近场光学显微镜的发展与原理
第一章近场光学显微镜的发展与原理
近场光学是指当光探测器及探测器.样品的间距均小于辐射波长条件下的光学现
象。近场区域的结构是相当复杂的,一方面它包括可以向远处传播的成分,即辐射波;
另一方面它又包括了仅仅局限于物体表面一个波长以内的成分,即非辐射波,这一部分
的特征是“依附”于物体表面,其强度随离开表面的距离增加而迅速衰减,不能在自由
空间存在,因而被称为隐失波(evaflescentwave),隐失波与尺度上小于波长的光源或物
体相关。
§1.1近场光学的发展
成像仪器如显微镜和望远镜的分辨极限分别是某个距离△x或
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