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近场光学显镜光纤探针的研制

摘要 Ne小field 近场光学显微镜的发明(scanmng Optical Scanning0ptical 人类在今后可以用光学方法在小于亚微米的尺度上观察和研究物体的外观形貌和内在 性质。 本文围绕着近场光学显微镜的关键部件——光学探针进行论述。介绍了不同光学探 针的特性及其制作工艺。其中着重阐述了热拉伸与化学腐蚀相结合制备AF/PsTM(原 子力/光子扫描隧道显微镜)双功能弯曲光纤探针的方法,从仪器和实验参数两个方面研 究了如何改善光纤探针性能(包括尖端直径、锥角、悬力臂直径等因素)并得到实验验 证。将双功能弯曲光纤探针应用于AF/PSTM系统中。可同时获得样品的光学与形貌图 像,实现图像分解。 关键词;近场光学,AF/PsTM,光纤探针,热拉伸,化学腐蚀 引掣亘蚕鸯莓i§;蓦坐&鬈羔 薹谭稍凄=叭鎏薹雾||囊i雾朔雾j篓窆囊舞霪薹囊裂譬海 蓬镞凑型囊蓁;繇萋雀羹鬻陶羹夔螽鋈旺=薹蚓羹撕蘸 甑磊笺需岗霪羹鎏薹畅徘羹鹱篓囊|||萤藿露;羹墅鬟鬟; 鸦皱疆篓勤;美菊引蕾訇鋈i;冀冀;鼋囊数墓刿馨i蚕 篓释蕃蓦i;《R g鋈鍪羹等鞘薹囊{翳嘉。配墅鏊磊嚣矍篓=謦鎏 鬣塞薹鼋睁羹藿矧芒煞鬟州i蚕~l蓁i至主一!。8;冀至鋈陋野 薹藏墓懿5白修羹鋈慧茬隹蠹萄吲郾%薹雕璧瓠;霎量一蠢 两ig一§掣蠢蒌霎;剥蜕;自萌i姜IIi磊缪冀驺黜器型薹擎 囊弱萌萎挺绦王望荔霪锁砸嘲蚕翻扰薹鲂妻蓠努羹薹。 渤,渍譬翰影盱霉5毒《;超鋈薯塞≤j囊薹I踊j氆鬟管 囊黏r塑辔囊引擎韵螽羹萋囊鋈氍哇墓鬟藿娄子 蠹; 霎纛冀弱醣!萋囊鼐囊墓蠢冀酚巧薹薹l弱翱螽戳篓 髀蒿羹舔鎏冀鎏塞霪萎誊囊替!薹鬻錾苹福基l挚墓一主星 茎塞爿垂涨鞋耋萋{辐篓; gi 蓍掣稀i墓一≥熟¥垂浑饕鎏举g 盈鋈?萋出麓警豢鬟霪鞴霎鳕跞鍪蝴蔷羹”骗i璧影# 鬻彳雾|||羹薹薇镑篱;零鑫!隧囊篓秣。薹薹i鳊蓁羹|皤。莲圣i 妻i薹≤骶霎有珩篓番蠹鍪蘑;§誊g,i|i。翼崖蔺鍪颂囊ii 霆骗萋t翥型基二器缸}蓄篓垦囊鋈骟弦§§l锖季毋冀羲 萋鋈j争奏i函区匡j蓁艇萎羹翼蚕留羹鬟耋剿暖曩攀嘿奏爵囊; 篱霪霎皱挥靴璧薹嚣羹藜塞蚕壤瓒峰蠢罐曦霎限的娄舌 疆篓垂跳囊塑话璧:薹稚霪||||鲢筒羹囊耋翟耋箩§‘鼹螽。铤 拆辑鳟髓鏊再薹酉蠹零翼3霉墼羹雾商午: 引掣i每搿S§镕露gltll 颦去著熟撞: 堋; li 羹囊薹囊捌襞鬟獭萎强葡誉鍪喜}i。髓霎¥囊lii襄 墓霈嚣攘妻墨 喜鬟i赢灌商雾简短丕鬟鎏蠢蠢羹鼠;耄剥雾替班 雕羹?囊藿囊雾i霪雾筑霪季塾錾剖信霪冀星:囊鹊弊端 描褡懿囊琴璧焉帮鬟鬣,缮薹錾薹霪淹莹;孽。;囊薄到零鍪 羹蛤馕搿澍渐瑶:鋈翮疆孤羹囊一囊囊爷囊薹,纂关翟 蚕王荔氍萋童鼍雒ll i粤粥蘩笃霪,萎本錾催灞霪烈袋 薹i|霎塞一l鳄簧囊薹囊。目毒茎~i曩萎;;塑赢菱积鬟淄錾噩 详鲴拉墼墨。?向光羹烈雕藿舻霪嚣象堕壤道震霪茎跫懿 第一章近场光学显微镜的发展与原理 第一章近场光学显微镜的发展与原理 近场光学是指当光探测器及探测器.样品的间距均小于辐射波长条件下的光学现 象。近场区域的结构是相当复杂的,一方面它包括可以向远处传播的成分,即辐射波; 另一方面它又包括了仅仅局限于物体表面一个波长以内的成分,即非辐射波,这一部分 的特征是“依附”于物体表面,其强度随离开表面的距离增加而迅速衰减,不能在自由 空间存在,因而被称为隐失波(evaflescentwave),隐失波与尺度上小于波长的光源或物 体相关。 §1.1近场光学的发展 成像仪器如显微镜和望远镜的分辨极限分别是某个距离△x或

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