酰胺基稀土合物的合成与表征.pdfVIP

南京航空航天大学硕士论文 摘 要 目前，稀土氧化物薄膜在许多不同技术领域被广泛运用，其介电常数(k (La O ) = 27, k 2 3 (Gd O ) = 16)较高，在硅衬底上热力学稳定(高于 ZrO 和 HfO ) ，因此在高K 材料方面将会有 2 3 2 2 良好的应用前景。由于稀土氧化物在高 K 材料方面的潜在利用价值，使金属有机化学气相 沉积(MOCVD)和原子层沉积(ALD)等制备高质量薄膜相关技术得到了高速发展。但是两种 技术都要求能够设计并合成出具有合理挥发性的稀土配合物前驱体，这对合成化学家将是一 个巨大的挑战。 本论文主要工作包括以下两个方面： 一、均配型酰胺基稀土配合物的合成与表征： 无水三氯化镧和酰胺的锂盐按摩尔比 1:3 的比例，在严格无水无氧的条件下，合成了一 系列均配型酰胺基稀土配合物 La[R(NCO)R] ⋅nC H (2a: R = Ph, R = i-Pr, n = 1; 2b: R = Ph, 3 7 8 R = t-Bu, n= 0; 2c: R = Ph, R = Cy, n = 1; 2d: R = Ph, R = i-Bu, n = 0; 2e: R = i-Pr, R = Cy, n = 0; 2f: R = i-Pr, R = t-Bu, n = 0; 2g: R = t-Bu, R = i-Pr, n = 0). 并对所合成的配合物用元素分 析、核磁共振氢谱和碳谱等方法进行了表征，最后利用 TG-DSC 对合成的部分配合物的热 稳定性和分解机理进行了初步研究，还对配体[t-Bu(NHCO)Ph]进行了 X-射线单晶衍射测试。 二、阴离子型酰胺基稀土/碱金属配合物的合成与表征： 无水三氯化钆和酰胺的锂盐按摩尔比 1:3 的比例，在严格无水无氧的条件下，合成了一 系列阴离子型酰胺基稀土/碱金属配合物{GdLi[R(NCO)R] } ⋅nC H (3a: R=Ph, R=i-Pr, n=0; 4 m 7 8 3b: R=Ph, R=t-Bu, m=2, n=2; 3c: R=Ph, R=Cy, m=2, n=2; 3d: R=Ph, R=i-Bu, n=0; 3e: R=i-Pr R=Cy, n=0; 3f: R=i-Pr R=t-Bu, n=0; 3g: R=t-Bu, R=i-Pr, n=0). 并对所合成的配合物用元素分 析、X-单晶衍射等方法进行了表征。配合物 Gd Li [t-Bu(NCO)Ph] ⋅2C H (3b), 单斜晶系 2 2 8 7 8 P21/n ，a = 16.890 (3) Å, b = 13.234 (2) Å, c = 23.402 (3) Å, α = 90°, β = 109.65 (3)°, γ = 90°, Z = 2. 配合物 Gd Li [C H (NCO)Ph] ⋅2C H (3c), 三斜晶系 P-1, a = 14.165 (3) Å, b = 14.814 (2) 2 2 6 11 8 7 8 Å, c = 15.559 (3) Å, α = 64.58 (3)°, β = 76.19 (3)°, γ = 67.51 (2)°, Z = 2 。 关键词：高 K 材料，原子层沉积，稀土氧化物，酰胺，稀土配合物 i