微型气体传感器中SnO-%2c2-薄膜特性的计算机模拟.pdfVIP

摘要 制作微型化的气体传感器是MEMS应用的主要领域之一。半导体气敏传感器，是当 很重视气敏特性的测量以及不同的工艺过程对薄膜微观结构特性的影响和气敏特性的联 系，但在基础研究工作方面却进展缓慢。 MEMS中大量使用薄膜材料，厚度可达微米、亚微米直至纳米量级。在这个尺度上， 材料的特性与宏观情况下是不同的。而在这样小的微器件中关于热的问题不可忽略。分 Studion’软 子动力学模拟和量子力学从头算方法是研究微观世界的有效方法。Matiafiai 件是Accelrys公司开发的专门用于分子模拟的软件，本文在计算中采用该软件作为模拟 平台。 论文以Sn02气敏薄膜(颗粒)作为研究对象，利用分子动力学模拟方法汁鲜微尺度下 的SnO：薄膜(颗粒)的热容。首先计算了在几百Hm厚度的薄膜热容，然后继续缩小薄膜 的尺寸，研究了龇级颗粒的热容情况。计算结果表明，在微观尺度下的热容，数值不 再是一常量，是尺度的函数；微尺度下SnOz材料的热容比体材料的热窑篮大：纳米材 料的热容与纳米颗粒之间的距离有一定关系。在第四章利用固体能带理论中的密度泛函 理论对Sn02的能带结构进行了求解，并对掺杂前和掺杂(Sb)后电子分布的情况进行了计 算。 关键词：气体传感器；SnO。：分子动力学模拟；热容；密度泛函理论；能带结构 Abstract ofthe sensorshavebecomeone MEMS Currently,microgas major fields．and sensorsarethemainstream．Tinis semiconductor as the gas oxide(Sn021widelyappliedgas material．Themeasurementofits characteristicsand sensing gassensing the relationship micro thin between山echaracteristicsandthe structureof filmsfabricatedwith different havebeen studiedand the fundamental processes significantly progressingrapidly,while researchstudiesare progressingslowly． are in films usedMEMSwithdifierentthicknessesfrom Thin widely in tonanometerscale．Thermalbecome suchm