中温制备多晶硅薄膜及其相关理论问题的探讨.pdf

郑州大学博士论文 摘要 摘 要 太阳能电池在缓解能源危机和解决环境污染方面有其重要的研究和应用价 值。我国当前经济处在高速发展期，能源供需矛盾突出，同时又是太阳能资源 比较丰富的国家，发展太阳能电池有迫切的需求和巨大的市场潜力。 太阳能电池的发展方向在于降低成本和提高效率。本文首先分析了各种太 阳能电池的价格、材料二次污染、电池效率等因素，从影响太阳能电池民用化 的成本和稳定性方面考虑，认为多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅薄膜材料优点于 一身，与现有的太阳能电池生产技术具有兼容性，有可能成为制作太阳能电池 的廉价优质材料，在将来极具潜力。根据处理温度不同，我们进一步把制备多 晶硅薄膜电池分为高温、中温和低温路线。考虑到以玻璃材料为电池衬底，它 在透光性、软化点、廉价、美观、可以与建筑一体化等优点，我们选择中温线 路作为制备多晶硅薄膜电池的研究方向。制备大晶粒多晶硅薄膜是提高多晶硅 薄膜电池效率的关键，本文将重点研究中温制备大晶粒多晶硅薄膜。 本文研究用常规高温炉中温制备多晶硅薄膜材料的工艺参数。在5500 C—10000C温区选择不同的晶化温度和时