微电子机械系统mems）中的光学测试方法研究.pdf

摘 要 摘 要 微电子机械系统(Micro—Electro—Mechanical 的一个新的研究领域，是新一轮技术产业革命。目前，世界各国对MEMS的投入力度 在逐年增大，然而，MEMS的应用却比预期的要慢，其中主要原因是MEMS器件的可 靠性不能得到保证。除了为数不多的MEMS产品进入市场外，相当一部分MEMS器件 依然停留在实验室阶段。影响MEMS器件可靠性的一个重要因素就是微尺度材料的力 学性能，因为在微观领域材料性能出现尺寸效应，表现出与宏观材料的巨大性能差异， 因此，需要在实验的基础上建立MEMS材料数据库。而光学方法是目前MEMS材料力 学性能研究的主要途径，所以，MEMS光学测试技术和方法的研究具有重要意义。 本文首先阐述了MEMS的起源、概念、特点及其应用前景，指出了当前MEMS发 展急需解决的问题，综述了光学测试技术和方法的研究现状，说明了光学测试技术和方 法在MEMS测量中的重要地位。 三维形貌和离面变形的光学测量是MEMS设计和制作中最基本的测试技术。文中 较全面地总结了三维形貌的光学测量方法，分析了光学条纹图的各种处理技术，重点讨 论了相位展开问题，这是信息提取的一个重要必经环节。在此基础上提出～种基于最小 相位截面差的相位展开算法，为后续章节条纹图的处理打下基础。 MEMS器件可动电极的偏转角同驱动电压之间的函数关系是MEMS器件的一个重 要性能参数，也是影响MEMS器件可靠性和寿命的一个因素。本文用显微投影技术结 合相移法研制了显微三维轮廓仪，并用该仪器研究了MEMS微镜和MEMS光开关可动 电极的偏转角同驱动电压之间的关系，为优化MEMS器件工作性能参数提供一定的参 考依据。 相移法是国际上公认的最可靠、精度最高的条纹处理方法，但以往的相移法需要三 幅或三幅以上条纹图才能解调出相位信息。为减少图像采集时间和提高测量速度，本文 提出两步相移法，该方法只需两幅相位差为n的条纹图即可解调出相位信息，且数据处 理简单、快速。该方法用于微镜电极板的三维形貌测量，取得满意结果。 薄膜是MEMS中最常用的材料，其力学性能的研究对提高MEMS器件的可靠性和 寿命具有重要意义。本文提出数字散斑分步相关法，并用该方法测量了聚酰亚胺，二氧化 硅(硅硫酸Si(On)。高温脱水)复合材料薄膜的弹性模量和泊松比。 谐振法是材料力学性能的一种动态测试方法，通常该方法需要专门的激振装置和精 确的位移测量机构。本文提出一种新的谐振法——时间积分成像法，该方法不需复杂的 激振装置，位移测量也很简单。文中用该方法测量了～悬臂梁的弹性模量，并同电测法 测量结果进行了比较，证实了该方法的可行性。 关键词： 微电子机械系统(MEMS)：力学性能；三维形貌；栅线投影；相移法；数字散 斑相关法；MEMS光开关；MEMS微镜；薄膜；谐振法 东南大学博士学位论文 Abstract Micro—electro—mechanicalanew area aresearch which system(MEMS)is springup inthe inrecent isaneither revolution．At upsurgeinternationalityyears，MEMS technology the ofMEMSisslowerthan time，the that the present application expectedalthough investmentof are main the