光波导三轴力传感方法的理论研究和实验的分析.pdf

墨茎查兰兰!二堂些堕兰—————————————————!旦兰 摘要 近年来，智能机器人的发展对传感器提出了越来越高的技术要求， 触觉传感作为机器人的主要传感方式之一，己越来越受到人们的广泛 关汪。常见的触觉传感器可以分为电阻式、压电式、热电式、电容式、 磁传导式等多种类型。本文介绍了国内外触觉传感器技术发展的现 状，并介绍丁一些典型触觉传感器的设计方法，分析了它们I各自所具 有的优点和所存在的缺点。然而众多的触觉传感器中，在直接检测三 轴力方面仍然没有取得令人满意的解决方案。、1 ．针对这个问题，本文在光波导单向力触觉传感技术的基础上，提 出…种新型的基于光波导原理的三轴触觉传感技术。它具有测力范围 较大、不受电磁干扰、耐冲击性好、灵敏度高、易加工等特点，应用 前景看好，因此开展该项技术的研究不汉具有重要的科学意义而且具 有重要的实用价值。本项目的研究得到了国家自然科学基金的资助。 本文详细地阐述了这种传感器的工作原理和基本结均，并设计丁 棚应的实验系统。它由一个硅橡胶垫、一个光波导路、一个三轴力加 载装最和光斑的采集设备等组成。硅橡胶垫作为力敏感区，一侧制作 成圆窿触头阵列，用于接触对象物体，感受三轴力。另一侧制作成落 锥触头阵列，使得每2×2个圆锥触头对应于另一侧的一个圆柱触头， 即每个圆柱触头下分布二×2个圆锥触头，构成一个力敏感单元，茹 使橡胶垫有圆锥触头的一面与光波导板接触。圆柱触头受外力F作用 时，对应的四个圆锥触头将受到挤压，由于光波导路中导波的全内反 射条件遭到破坏而产生光泄漏，在波导板上形成光斑。当三个方向分 力大小不同时，就一个圆拄触头而言，下面的4个圆锥触头与丙烯皈 “々接触面积不帽等，因面位于丙烯扳另一面的CCD摄像器所摄耿到 的光斑面积也不相同。换言之，三轴力的大小与各个亮斑面积的大小 存茌一定的对应关系。 论文以平面光波导的几何光学理论为基础，分析了光波导∥、 {砌Ⅲ，嘶∥)列称波导向(?Ⅲ，．”。)非对称波导转变中导波模式所发生的变 化。结果表f纠，当传感嚣受到外力F时，在波导中将有△m。个模式彳： 晚；：t续存在j二波导中而辐喇出圭。 里堕!：兰兰!竺壁堡兰————————————————————————坠 论文应用麦克斯韦电磁理论对光斑形成机理进行了深入研究，得 到§lI下结论：平面波导就相当于一个高通滤波器，波导类型不同，截 IE频率将发生变化，光斑的形成则是由于对称平面波导(no一”，一”口)转 变为非对称平面波导(7．”rnD)过程中截止频率改变的结果。对存在 于对称平面波导中的各个模次的光，将有AfeE+Ⅳ0的光被泄漏，而 CCD所掇到的则是其中被反射的一部分。 本文还利用有限元分析法，通过对圆柱触头受三轴力时力敏感单 元的接触变形分析，发现施加到圆柱触头上的力的三个分量可以通过 该圆柱触头所对应的2×2个圆锥触头与光波导板接触时泄漏出的光 斑面积确定。通过CCD摄取此光斑送入计算机进行处理，从而可以 求出光斑面积大小。在ANSYS中应用APDL语言编程，经过大量日0 模拟和仿真，建立了外力和光斑面积之间相应的数学模型关系。 最后，通过大量的实验数据，验证了该理论公式的可靠性。反之， 可以很容易地通过光斑面积计算出圆柱触头所受到的外力，检测到在 任意方同上的分力大小，从而为智能机器人三轴力触觉传感技术提供 丁一利，新的解决方案。 关键词：光波导，触觉传感，三轴力，有限元分析，图像采集 里鉴茎兰翌±差丝丝兰 一————————————————垒墼 Abstract of robots considerably’ reqmres intelligent development Recently，the themost methods、tactile oneof