《基于空间频域算法的三维微观形貌的测量》.pdfVIP

第41卷第8期 光电工程 Vo1．41，No．8 20l4年 8月 Opto—ElectronicEngineering August，2014 文章编号：1003—501X(2014)08—0016—06 基于空间频域算法的三维微观形貌的测量 徐永祥，张乾方，刘松松，刘 义 (南京理工大学 物理系，南京 210094) 摘要：白光干涉术测量表面形貌，解决了单色光干涉测量中的相位不确定困扰。基于扫描白光干涉术的空间频域 算法，具有受噪声影响小 计算精度高的优点 运用这一算法通过Mirau扫描干涉昱微镜对台阶状样品表面进行 了两次白光扫描测试，得 出了台阶表面形貌结果，且两次测量的台阶高度相差不超过 1nm。同时，利用 Zygo Newview7200白光形貌仪对同一样品表面进行了测试对比，结果表明：两者得到的样品表面形貌一致，台阶高度 相差0．9am。此外，实验数据处理的结果还表明：运用空间频域算法进行分析时二阶以上的色散完全可以忽略。 关键词：白光干涉；空间频域算法；三维形貌；干涉显微镜 中图分类号：TH741；TN249 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2014．08．003 3D M icroTopographyM easurementBasedon SpatialFrequencyDomainAlgorithm XUYongxiang，ZHANGQianfang，LIUSongsong，LIUYi (Departmentof ics，NanjingUniversityofScienceandTechnology，Nanjing210094，China) Abstract：Whitelightinterferometryfortopographymeasurementcanavoidphaseuncertaintytroublewhichexistsin laserinterferometry．SpatialFrequencyDomainAlgorithm (FDA)，basedonwhite—lightscaninterferometry，hasthe advantageofinsensitivitytonoiseandhighercalculationaccuracycomparedwithothermethods．ApplyingFDA，two whitelightscanning testsOilthes~Nceofa step—like samplearecarried on with aMirau typedscan interference microscope．Thustwosteppedprofileresultsareobtained，theirstepheightsdifferencenotexceeding1nm ．M eantime， thesamesampleisalsotestedwithaZygoNewview 7200profiler,bothtopographyresultsagreeingwitheachotherand stepheightsdifferingby0．9nm．Besides，dataprocessingresultsalsoshow thatthechromaticdispersionhigherthan2“ orderiscompletelynegligiblewhenapplyingFDA． Key words：whitelightinterferometry；frequency domain algorithm；three dimensionaltopography；interferometric m icroscope 0 引 言 机械制造、电子工业、二元光学、机