高性能cvd金石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用.pdfVIP

高性能CVD 金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用 摘 要 本文对低摩擦系数金刚石薄膜的研究现状和发展趋势进行了综合评 述，从低摩擦系数金刚石薄膜的沉积原理和工艺以及金刚石薄膜效应表 征等方面分析了国内外最新研究成果，比较了常规和低摩擦系数金刚石 薄膜不同沉积工艺和形核生长机理，对低摩擦系数金刚石薄膜的硬度、 内应力、摩擦特性等机械性能也作了概述，在此基础上，提出在常规金 刚石薄膜基础上沉积低摩擦系数金刚石薄膜的组成复合涂层的新方法。 CVD 金刚石薄膜具有天然金刚石的高硬度、高导热系数、低摩擦系 数和低热膨胀系数等优异性能。随着CVD 沉积技术的不断成熟，金刚石 薄膜实际应用受到越来越广泛的重视。然而，由于常规金刚石涂层表层 晶粒粗大、表面粗糙、很难抛光，直接限制了CVD 金刚石薄膜在摩擦磨 损领域的应用。与之相比，低摩擦系数的金刚石薄膜则具有表面光滑平 整，表面粗糙度远低于常规金刚石薄膜，摩擦系数小以及硬度略低于常 规金刚石薄膜便于后续抛光处理等特性。低摩擦系数金刚石薄膜可大大 拓展金刚石薄膜在支撑器、微机电系统（MEMS）等领域中的应用。在轴 承支撑器和耐磨器件表面最容易获得实际使用效果和实现产业化。制备 大面积、均匀平坦的金刚石薄膜，对CVD 金刚石薄膜在支撑器和耐磨器 件等方面应用具有重要意义。 本文采用热丝CVD 法（HFCVD），以丙酮和氢气为原料，在硬质合金 YG6 （WC-Co6%）衬底上沉积高质量金刚石薄膜和金刚石复合薄膜，以及 在光滑硬质合金YG6 衬底上直接沉积低摩擦系数金刚石薄膜，并采用扫 I 描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、成分分析（EDX）、喇曼谱（Raman）、 高分辨率透射电镜（HRTEM）、电子衍射（SAED）等检测方法对薄膜的结 构和性能进行了分析；研究了衬底不同预处理方式及反应参数等对金刚 石薄膜附着力、表面形貌、薄膜质量等的影响；研究了低摩擦系数金刚 石复合涂层支撑器的制备方法，对涂层的形貌、均匀性及质量进行了多 项检测，并在实际生产线上进行了应用性试验。在轴承支撑器等平面耐 磨器件光滑衬底表面，直接沉积低摩擦系数金刚石薄膜并进行了应用试 验。 研究结果表明，用颗粒尺寸为10-100nm 金刚石制成的金刚石薄膜， 其表面粗糙度Ra ≤100nm。低摩擦系数涂层仍然是以金刚石结构为主的 多晶体，但含有较多的晶界，晶界区为不定型的金刚石 sp2 结构，对涂 层表面的研磨抛光是十分有利的。衬底上加负偏压及降低反应气压能明 显提高金刚石薄膜的二次形核率，促进了金刚石薄膜的生长。金刚石复 合涂层技术，不仅解决了涂层附着力这一技术难题，而且突破了金刚石 涂层表面不易抛光这一瓶颈，扫除了CVD 金刚石薄膜产业化的障碍。涂 层支撑器经过相关厂家应用试验表明，复合涂层支撑器的应用不仅能大 幅度提高支撑器的使用寿命，有效减少换支撑起时间和提高轴承加工效 率，而且能从根本上改进轴承质量和光洁度，提升产品档次，非常适用 于轴承支撑器的加工和测量仪支撑块的制造。 关键词：CVD 金刚石薄膜，附着力，复合涂层，轴承支撑器，涂层平面 耐磨器件 II FABRICATION AND APPLICATIONS OF HIGH PERFORMANCE BEARING SUPPORT OF DIAMOND FILMS ABSTRACT In this paper, the lastest development of lower friction diamond films with regard to nucleation and growth mechanism, deposition technology and its research trend. the differences between conventional and lower friction diamond films in terms of nucleation and growth mechanism and depo