压电石英晶片扭效应研究及新型扭矩传感器的研制.pdf

摘 要 自从1880年发现压电效应以来，压电效应研究便一直是压电学科基础理论和智 能材料的核心课题。当前，由于科技发展和工程实际需要，压电效应的研究已经由单 纯基于应力的纵向效应、横向效应、剪切效应等二维效应发展到基于晶体变形的拉伸、 压缩、弯曲、扭转的三维复合效应，但尚未完善建立起基于变形的压电效应理论体系。 运用压电学、晶体物理学、电介质物理学、各向异性弹性理论以及各向异性电磁理论 等交叉学科的理论成果，对三维复合效应中的压电石英晶片扭转效应进行了深入系统 的研究，从而首次给出了一套完整的压电晶体扭转效应的研究方法：并在该理论研究 的基础上成功研制出一种新型扭矩传感器。 一 首先，探讨了在机械扭矩载荷作用下压电晶体内部由弹性各向异性引起的复杂应 力状态，结合各向异性扭转理论和各向异性麦克斯韦电磁理论，得出了Y0切型石英 晶片扭转应力场和非线性极化体电荷与面电荷密度分布规律，并采用有限元法模拟了 极化电场在压电片内的分布。结果发现在晶片机械轴垂直表面上扭转极化电荷密度分 布是非均匀的，而是以电轴为分界线成反对称分布。所以为了合理布置电极以有效检 测晶片的扭转效应，必须采用分割电极法，而不是通常所用的单电极法：采用电荷法， 而不是常用的电压法来进行电极间连线。理论与实验结果均表明压电石英晶片确实存 在扭转效应，且外扭矩与所产生的电量之间是确定的线性关系。 其次，在压电石英晶片扭转效应研究的基础上，采用有限元法对基于石英晶片扭 转效应的新型扭矩传感器结构中的关键尺寸进行了分析计算，研制成功一种全新具有 自主知识产权的压电扭矩传感器。该新型扭矩传感器同其他压电扭矩传感器相比突出 特点：它采用了石英晶片的扭转效应，面不是剪切效应。整个扭矩晶组仅用三片普通 Y0切型的石英晶片组成，晶组组成方式能够消除径向力与轴向力的向间干扰，而且 又能提高传感器的灵敏度。标定结果表明该传感器具有良好的线性静态特性，固有频 成果已经申请中国国家发明专利。 最后，采用三因素(钻头直径d，进给量^钻床的转速一)正交试验法对钻削中 的扭矩进行实测。通过方差分析指出影响扭矩的主次顺序为d．厂嚣，并根据多元线 性回归建立了钻削45钢的扭矩经验公式，从而验证了该扭矩传感器完全可以用于实 际测量。 关键词：压电；石英；扭转效应；各向异性；扭矩传感器 英文摘要 Abstract in brothersdiscovered of l research SinceCurie 880，the crystal piezoelectricityquartz on effectis the ofthefoundation theory alwayskeysubject ofpiezoelectricity piezoelectric ofthe and thescienceofsmartmaterial．Because and development technology engineering the has practicalrequirement．atpresentpiezoelectrictheoryalreadyplaceemphasis丘om two effect on