去离子水中n型的微细电火花加工工艺研究.pdfVIP

摘 要 电火花NI是一种非接触式的、宏观加工力很小的加工方式，这使其在 微细轴、微小孔加工及微三维结构制作方面显示出了非常巨大的潜力。随着 微细电火花加工工艺研究的不断深入，半导体硅材料在微细电火花加工中表 现出良好的加工性能。在微细电火花加工中，工作液介质是不可缺少的元 素。微细电火花加工常用的工作液主要有煤油和去离子水等。与煤油相比， 去离子水具有无色无味，流动性好，无污染等优点，因此本论文展开了去离 子水中N型硅微细电火花加工工艺研究。 本文从硅材料的机械物理性能和导电性能出发，从硅材料的抗腐蚀指 数、材料的掺杂浓度、材料的掺杂类型以及材料的晶向特性等方面对硅材料 的电火花加工性能进行了分析。同时也对去离子水和煤油作为微细电火花加 工工作液的主要特性进行了对比分析，为去离子水中N型硅的微细电火花 加工提供了理论基础。 在理论分析的基础上，本文对去离子水中的N型硅的微细电火花加工 工艺规律进行了实验研究，分别在加工效率、电极损耗和表面粗糙度等方面 与煤油工作液中N型硅的加工进行了对比，并且给出了去离子水中微小孔 的NT实例。 最后，对基于UG的微细电火花铣削CAD／CAM技术进行了研究，利 用UGCAM生成了凹腔与微圆锥复合结构、微型气流传感器单元结构和 HIT微三维文字等的数控铣削加工程序，并且在去离子水工作液中进行了加 工实现。 关键词微细电火花加工；N型硅：去离子水；微细电火花铣削 兰奎鎏三兰查兰：：兰篓圭兰竺兰兰 Abstract Electrical a non—contact DischargeMachining(EDM)ismachining with littte forcebetween and electrode，which technique cutting workpiece its and3D resultsin on micro· micro—shafts，micro·holes greatapplications the ofmicro—EDM．silicon showsattribute components．Withdevelopment good for EDM．Thedielectricfluidisan elementin by processing indispensable in micro．EDM．Thedielectricfluidsincommonuse micro．EDMarekerosene has and water with demonizedwater．Demonizedseveral advantagescompared kerosenein aS micro—EDM，suchcolourless，tasteless，andodourless，bett