新集成电路制造工艺 教学课件 林明祥 第10章至第12章.pptVIP

12.3　超纯气体与化学试剂纯度 1.超纯气体 12.3　超纯气体与化学试剂纯度 表12-3　IC制造业中气体最低纯度指标 表12-4　气瓶及输送管道颜色 2.化学试剂纯度 12.4　习题 1.集成电路生产上使用的去离子水要求多少电阻率？2.简述高纯水制备工艺流程。3.简述离子交换的原理。4.什么是反渗透？5.什么是电渗析？6.制备水时应注意哪些事项？7.废水中的物理指标和化学指标是什么？8.废水处理方法有几种？ 11.4.2　洁净工作台 116.tif 图11-6　净化工作台原理图a)直流式　b)再循环式 11.4.2　洁净工作台 图11-7　垂直式和水平式层流超净台结构a)垂直式　b)水平式 11.5　洁净工作室  11.5.1　洁净工作室分类及特点 1.斜流式洁净工作室 11.5.1　洁净工作室分类及特点 图11-8　斜流式洁净室 11.5.1　洁净工作室分类及特点 图11-9　水平层流洁净室 11.5.1　洁净工作室分类及特点 图11-10　垂直层流洁净室1—净压室　2—高效过滤器3—风机组　4—初、中效过滤器5—风机室　6—洁净室 11.5.1　洁净工作室分类及特点 2.水平层流洁净工作室3.垂直层流洁净室 11.5.2　洁净室内除尘设备 1.风淋室2.静电自净器 11.5.2　洁净室内除尘设备 11M11.tif 1111.tif 11.5.2　洁净室内除尘设备 图11-12　静电自净器 3.真空收尘器 11.5.3　洁净室工作人员注意事项 1)进入洁净室的人员，必须穿戴好净化工作服(包括衣、裤、帽、鞋等)。2)每周一至二次清洗工作服。3)进入洁净室的物品在数量和清洁度方面都有严格规定，与工作无关的书、报、杂志，一律不准带入洁净室。4)洁净室内不准使用铅笔和易产生尘埃的纸张。5)有传染病、皮肤病和呼吸道疾病患者，不得进入洁净室工作。6)严禁吸烟和吃零食。7)定期进行尘埃检测，一旦发现超标，就要采取有效措施。8)洁净室要定期清扫，在不工作之日进行设备维修(指大的设备维修)。9)工作人员原则上不串门，除非工作需要。 11.5.3　洁净室工作人员注意事项 10)外来参观者尽量少，要按照规定限定参观人数。 11.6　习题 1.洁净室等级标准分为几个级？2.简述尘埃的来源如何3.如何测量尘埃？4.简述净化设备的组成。5.洁净工作台有几种？6.简述洁净室工作人员注意事项。 第12章　去离子水制备及废水处理 12.1　去离子水的制备12.1.1　去离子水生产流程12.1.2　离子交换原理12.1.3　反渗透原理12.1.4　电渗析原理12.1.5　制备去离子水应注意事项12.2　废水处理12.2.1　废水的来源与特性12.2.2　废水处理方法12.2.3　废水处理注意事项12.3　超纯气体与化学试剂纯度12.4　习题 12.1　去离子水的制备 表12-1　去离子水中杂质及有机物含量标准 2.杂质离子用原子吸收仪测量。 12.1　去离子水的制备 表12-2　湿度与电阻率关系 12.1.1　去离子水生产流程 1.预处理系统1)回流阻止器确保被处理的水不进入城市供水系统。2)双介质过滤器(石、砂、无烟煤)，用来除去悬浮的固体颗粒。3)碳过滤器可去除Cl2，吸收非极性有机碳。4) 硬水软化器(聚苯乙烯离子交换树脂)可防垢，并除去阳离子(Na+、Ca2+、Mg2+……)经过预处理系统以后，可以确保R0的工作寿命。2.补给系统1)粗过滤器用来除去悬浮固体颗粒，使尘埃颗粒降到5μm范围。2)防垢器可抑制碳酸钙、硫酸钙、硫酸钡等。3)R0装置即反渗透装置，可以把浓流(包含大部分原来溶解在水中的固体微粒)排进废水管，把渗流(渗过水)送入单层阳离子和阴离子柱中，经离子交换成为去离子水(DI)。 12.1.1　去离子水生产流程 3.精处理系统1)混合层去离子器(包含阳树脂、阴树脂)可以提供18MΩ·cm的去离子水。2)粗过滤器的孔径为5μm。3)紫外线杀菌器去除含毒害细菌。4)最终过滤器的孔径为0.2μm。5)反压调节器是将剩余的去离子水的送回储水箱中，以节约用水。 12.1.2　离子交换原理  12.1.3　反渗透原理 121.tif 12.1.3　反渗透原理 图12-1　反渗透示意图a)渗透现象　b)反渗透 121.tif 12.1.4　电渗析原理 图12-2　电渗析示意图 12.1.5　制备去离子水应注意事项 1.注意事项1)工作时要严密监视纯水运行状态，每2h连续监视TOC、颗粒、SiO2、出水电阻率、用水量以及各压力表的读数。2)认真作好值班记录，每2h把各个参数、记录在纯水值班记录表上，每8h记录出水量和回水量。3)监视水泵、