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PECVD段工艺培训 黄亚明 工艺人员的主要职责 负责现场工艺运行的正常与稳定； 负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运 行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。 负责应对设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措 施、预防措施、应急方案。 对生产人员可能的不规范操作及时通知其予以纠正。 对现有生产技术进行必要的研究并提出改进建议。 对PECVD的简单介绍 1、PECVD在电池生产工艺中所处的位置： 对PECVD的简单介绍 2、PECVD定义： PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 的简称，即等离子体增强化学气相沉积。 与其他成膜方式如PVD、LPCVD相比，其优点有： 基本温度低、沉积速度快、成膜质量好、不易龟裂等。 PECVD原理与作用 PECVD基本原理：借助微波或射频的能量，使反应气体（ NH3、SiH4）产生电离，在一定范围内形成等离子体，等离 子体反应后在硅片表面形成SiN膜。 什么是等离子体？ 等离子体是气体在一定条件下受到激发，发生电离，部分 外层电子脱离原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合组 成的一种形态，这种形态称为等离子态，也称为第四态。 1、减反射