原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
第 34卷第 2期 电 子 与 信 息 学 报 、 1．34NO．2
2012年2月 JournalofElectronics InformationTechnology Feb．2012
缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
邓 成 鲍景富 杜亦佳 赵兴海
。f电子科技大学电子工程学院 成都 611731)
。f中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳 621900)
摘 要：针对现有微机械(Micromechanical，也称MEMS)圆盘谐振器串联动态电阻过大的问题，该文提出了电极
移动法，将其它MEMS器件的可调性能引入MEMS圆盘谐振器，在现有最窄缝隙工艺条件下实现了电极一圆盘缝
隙的进一步缩减，降低了串联动态电阻。该文给出了悬置电极的设计方法，推导了电极移动后有效缝隙宽度的表达
式，提出了可防电极接触短路的微小圆孔状凹陷设计，并给出了加入凹陷后的有效缝隙宽度表达式。通过ANSYS
仿真结果可知，分别加载2．10V和66．38V偏置电压后，0．1m和 1m 电极一圆盘缝隙缩小为0．0016lim和 0．01
m。对于O．1～1．1m缝隙谐振器，串联动态电阻变为原来的10 倍以下。
关键词：微机电系统；微机械圆盘谐振器；电极一圆盘缝隙；串联动态阻抗；电极移动
中图分类号：TN703；TN305 文献标识码：A 文章编号：1009—5896(2012)02—0493—06
D0I：10．3724／SP．J．1146．2011．00403
A NovelM oving—electrodeApproachtoReducethe
Electrode--disk-·gapofMEMSDiskResonator
DengCheng① BaoJing—fu① DuYi-jia① ZhaoXing—hai②
①(Sch0DlofElectronicEngineering，UniversityofElectronicScience0ndTechnologyofChin0，Chengdu611731，China)
(ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900，China)
Abstract：FortheproblemofgreatseriesmotionalresistanceinMicromechanical(orMEMS)diskresonator，a
novelmoving-·electrodeapproachispresentedtoreducetheelectrode--diskgapandtheseriesmotionalresistanceof
resonator．Thisapproach introducesthetunablepropertyofotherRFMEMSdevicestodisk resonatorsinthe
existing fabrication conditions．The seriesmotionalresistance ofthe disk resonator is reduced．The paper
introducesthetheoryand designofthediskresonatorwithsuspendedelectrode，derivestheeffectivegapwidth
afterelectrode’Smoving，proposesacircle-shapedgrooveproducedbyholeinamasktosolvethepointcontact
problem betweenelectrodeanddiskandanalyzestheeffectofcircle—shapedgrooveontheeffectiveg
文档评论（0）