太阳电池用单晶si表面的织构化研究.pdfVIP

第34卷 第5期 电 子 器 件 Vo1．34 No．5 2011年 10月 ChineseJournalofElectronDevices 0ct．2011 StudyonSurfaceTexturizationofMonocrystallineSiliconforSolarCells LVHongjie，SHENHonglie ，SHENZhou，LIUBin，LIBinbin (CollegeofMaterialsScienceTechnology，NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，China) Abstract：Duringanisotropicetchingofmonocrystallinesilicon，therelationshipbetweentheangle ofthepyramid andthereflectivityofetchedsurfacewasstudiedaswellasthe influenceoftheconcentrationofNaOH andthe etchingtimeonthereflectivityofthetexturalsiliconsurfacebyfixingtheetchingtemperatureandtheadditivecon． centration．Theoptimizedparametersarethatthealkalinesolutionconcentrationis2．5％ andtheetchingtimeis40 min，whilethesurfacereflectivityintherangeof400nm and 1100nm isonly10．54％ accordingtothespectro— photometermeasurement．Thesurfaceofthetexturedsiliconandtheanglewerestudiedbythescanningelectronmi— croscopy，and theresultsshow thattheangleO／isabout54．02。in the optimum condition．On thebasisof experimentaldata，thesimulatecurveandthesimulateequationofthereflectivityasafunctionofpyramidangleare obtainedbysoftwareOrigin．Andthesimulatecurvefitsthepointsofexperimentaldatawel1． Keywords：solarcell；monocrystalline；pyramid；angleOt；reflectance EEACC：8420 doi：10．3969／j．issn．1005—9490．2011．05．004 太 阳电池用单晶Si表面的织构化研究木 吕红杰，沈鸿烈 ，沈 洲，刘 斌，李斌斌 (南京航空航天大学，材料科学与技术学院，南京 210016) 摘 要 ：在碱溶液各向异性腐蚀单晶硅片制备绒面的过程中，固定反应温度和添加剂体积分数，重点研究了金字塔倾斜角 的大小与反射率间的关系，并分析了反应时间和NaOH溶液的浓度对表面织构的影响。用分光光度计测量了制备绒面的反射 率，结果表明，当腐蚀时间为40min，NaOH质量分数为2．5％时，在400nm～1100nm波长范围内，绒面平均反射率最低 ．仅为 10．54％。用扫描电镜观察了si片表面形貌和金字塔倾斜角 ，发现所得反射率最低的绒面金字塔倾斜角 为54．02。。以所 得实验数据为基础，得到了反射率随金字塔倾斜角度变化的拟合曲线和函数表达式。 关键词 ：太阳电池；单晶硅；金字塔；倾斜角O／；反射率 中图分类号：TK514 文献标识码 ：A 文章编号：1005—9490(2011)o5—0498—05 为了提高单晶硅太阳电池的光电转换效率。工 人进一步研究了用NaOH．IP