由ebsd谱三维重构晶体的bravais点阵.pdfVIP

第27卷 第 6期 电 子 显 微 学 报 Vo1．27．No．6 2008年 12月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 2008．12 文章编号 ：1000—6281(2008)06—0499—07 由EBSD谱三维重构晶体的Bravais点阵 于忠辉 ，韩 明 ，庞年斌，孙瑞涛，尹文红 (山东理工大学机械工程学院，山东 淄博 255049) 摘 要 ：本文提 出了利用电子背散射衍射 (EBsD)技术确定块状 晶体未知点阵的新思路 ，详细介绍 了从 EBSD谱 中 的二维面信息到三维空间的重构算法，利用超定方程组，由菊池带宽度及其夹角信息，求出三维倒易初基胞 的晶胞 参数。结果表明，用单张EBSD花样完全可以解析未知晶体的Bravais点阵类型及晶胞参数。 关键词 ：电子背散射衍射 ；未知 晶体 ；三维重构 ；Bravais点阵 中图分类号 ：07；TG115．215．3；TG115．23 文献标识码 ：A EBSD是20世纪 90年代发展起来 的一种显微 衍射花样 由Channel5．0EBSD附件采集 。实验的相 结构分析技术n]，它特别适合于研究块状 晶体试样 机常数与波长积为 1．09inln·nm(菊池带宽度与对应 表面的晶体学取向信息，目前 已成为扫描 电子显微 晶面间距 的乘积)。图谱保存为 8位灰度格式 的 镜的重要附件。其应用主要方面为 ：测定单 晶体取 bmp图形文件 ，图像分辨率为72dpi。 向 ]，分析多晶体 的织构 ]，鉴别合金相 及测量 应用 自行开发的计算机辅助测量软件 ，用 鼠标 晶粒尺寸 等。 定位并结合人眼判断的方法测量 EBSD谱 中菊池带 EBSD谱与透射 电子显微镜下得到的菊池谱相 的宽度和方位角 ，菊池带方位角用其 中心线方位角 类似，但前者衍射角度更大 ，可提供更多的晶体二维 替代 ，其取值范 围为 0。～180。。在确定菊池带 中心 倒易信息。典型的EBSD谱 由多条菊池带组成 ，带 线时，尽可能使经过 同一个菊池极的菊池带 中心线 与带之间相互交叉形成菊池极。菊池带反映了参与 交于一点 ，实际测量时若 中心线交点问距小于5个 衍射的晶面信息，带 的宽度与晶体倒易矢量的长度 像素 ，则这些交点归人 同一个菊池极 。当一条 中心 成正比，带之间的夹角对应于倒易矢量之间的夹角。 线出现多个带宽时，取其 中的最小值 。对于边缘不 经过 同一菊池极的菊池带 ，其宽度及夹角揭示 了二 严格平行的菊池带，取其带宽的中间值，所有菊池带 维倒易面上矢量 的分布特征 ，因此 EBSD谱经过三 宽度和方位角的测量值均保 留两位小数 。 维重构可以确定未知晶体 的点阵类型和点阵参数。 2 结果与讨论 然而 目前尚未有这方面工作 的报道。 尽管 EBSD谱提供 了样 品丰富的晶体学信息， 图 1给出本文使用的EBSD花样 。图 2为菊池 但由于其采集装置 的轴线与信号发射方 向并不平 带 中心线的示意图，中心线上的数字代表菊池带的 行 ，致使采集 的EBSD花样出现明显的几何 畸变 ，在 序号，中心线交点的数字表示菊池极的序号。从 图 图谱中具体表现为某些菊池带的两侧并不呈严格 的 1和图2中可以看出该 EBSD花样含有 37条 明显的 平行直线 ，常呈喇叭 口状。此外 ，晶体 内部的缺陷也 菊池带和 139个菊池极。 使菊池带边缘的衬度变得漫散和模糊 ，这些因素 表 1列出了各菊池带