真空探针设备工艺研究.pdfVIP

- 电 子 工 业 专 用 设 吾 测试与测量 真空探针设备工艺研究 吕 磊 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 100176) 摘 要 ：以手动真空探针设备为例 ，介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术 ，并分析 了 真空腔体 密封 方式及操作流程 。 关键词 ：真空探针；真空腔体 ；真空泵 ；波纹管 中图分类号 ：TN305 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2013)04—0029—05 TheProcessResearchofVacuum Probe LV Lei (The45thResearchInstituteofCETC，Beijing，100176) Abstract：Takingthemanualvacuum Probeforexample，thearticleintroducesthedifferentprocess betweenthevacuum ProbeandthegeneralProbe，andalsointroducesthesealmodeandtheoperation flow ． Keywords：Vacuum probe；Vacuum room ；Vacuum pump；Bellows 探针设备是半导体封装工艺线上对完整晶圆 进行前道测试的设备，主要功能是避免对不合格 的芯片进行封装_】]。目前，国内的探针设备多为大 气环境下或者通入受控保护气体如氮气或惰性气 体等环境下进行测试，不能满足真空测试的要求 。 真空探针技术是在常规探针设备基础上发展的， 基于真空测试基本理论及工艺原理 ，测试对象为 特殊环境 (主要包括 ：低温环境和特种环境)测试 要求 的芯片 【。 图1为研制的手动真空探针设备，与常规探 针设备相比较，其结构包括真空腔体、真空系统、 充气排气结构、外部操控结构等。 图 1手动真空探针设备 收稿 日期 ：2013—01—18 电 子 工 业 墓 用 i殳备 - 测试与测量 1 真空腔体 2 真空系统 真空腔体是真空探针设备的关键部分，真空 高质量的真空系统是进行真空测试的基本保 腔体密封性的好坏直接影响设备的使用性能。设 证，真空系统由抽真空泵、真空管道和真空测量等 计高可靠性的真空腔体不仅包括腔体本身零部件 几部分组成 。图3为真空系统示意 图。 之间 (腔体与腔体盖、腔体盖与观察窗等)的密封 性，也包括真空腔体与四周管路、阀门、操作部位 之间结构密封 的有效性[3]。 真空腔体采用圆柱形不锈钢焊接结构，一端 密封固定于工作台板上；一端采用端盖密封，端盖 上安装有观察窗，端盖可手动取下，用于取放待测 晶圆(芯片)。图2为真空腔体整体外观图。 图 3 真 空系统示意 图 系统选 用 SH一100型无 油 机械泵 和 Tor— bo0V81M 型高真空分子泵，前者用于对真空室预 抽真空，其特点是 1～1．0×10 Pa压力范围时抽 速大 。后者用于抽高真空，工作压力范围是 1～ 1．0×10一sPa。其