cnx基纳米复及多层薄膜的制备与机械性能.pdfVIP

摘要 摘要 本文设计并采用直流磁控溅射技术，制备了无定形碳氮基的纳米复合薄膜 (纳米晶粒镶嵌的碳氮基的TiCN薄膜)以及纳米多层结构薄膜(TaN／a．CNx纳 米多层膜)，并对薄膜组织结构和机械性能的变化规律进行了系统的研究。 1．在溅射气压不变的条件下改变氮气和氩气的流量比，通过磁控溅射Ti．c 复合靶材，制备了不同组分和结构的TiCN纳米复合薄膜。通过XPS分析，发 现随着氮气流量增加，薄膜中N含量增加，C含量降低，Ti含量几乎不变。结 合XRD、XPS分析以及平面HRTEM的观察，发现未通入氮气时，薄膜组成为 结晶度较高的TiC；通入氮气后，薄膜晶粒变为5-10 nm的TiN和Ti(C，N)，且 随氮气流量的增大，薄膜中TiN和Ti(C,N)I昀比值有增大趋势。Raman分析表明 氮气流量增加，薄膜中无定形碳含量增大． 2．对TiCN薄膜的力学性能测试表明，通入30seem的氮气时，薄膜的硬 度和弹性模量均最大，并且表现出最佳的抗裂纹扩展能力和摩擦磨损性能。 3．采用磁控溅射在氮气和氩气气氛下交替溅射Ta靶和C靶，制备了调制 周期为8．5-12 nnl的TaN／a．CNx多层膜。a．cM层厚度为O．5nm的TaN／a．CNx 多层膜虽然具有多层层状结构，但TaN的柱状生长模式仍然较明显。而厚度大 于lnm的a．CNx层能够促使TaN重结晶，有效抑制TaN的柱状生长方式并减 小其晶粒尺寸． 4．相比于单层TaN薄膜，TaN／a．CN。纳米多层膜具有较高的硬度。利用球． 盘式摩擦磨损仪测试了2-11 N载荷下Ti6A14V合金基底上TaN／a．CNx纳米多层 膜的摩擦磨损性能。a．CNx层厚度为2nm的TaN／a．CNx薄膜拥有最低的磨损率。 关键词：碳氮基纳米复合膜，纳米多层膜，力学性能，摩擦磨损性能 摘要 Abstract Abstract Thisthesisfocusesontheconstructionof carbon amorphous nitride(a．CNx) based films of nanocompositefilms(TiCNcomposednanocrystallines embedded)as wellasmultilayers(TaN／a-CNxareboth direct multilayers)，whichpreparedby current betweenthe magnetron Meanwhile，the sputtering． relationship microstructure andmechanicalofthefilmswere properties investigated． 1．TheTiCN filmswith different andstructures nanocomposite compositions were theT