用于热光光开关聚合物薄膜波导制作.pdf

摘 要 光开关不仅是光交换的核心器件 也是影响全光网络性能的主要因素之一 结合高分子聚合物材料的优良性能 研究聚合物热光光开关的制备具有非常重要 的意义 本文着重介绍了聚合物热光开关制作中的关键技术:聚合物薄膜平面波 导的制作 主要内容如下: 1 介绍了聚酰亚胺材料的合成原理 并详细描述了材料的制备过程 2 通过旋涂法制备了用于波导制作的高性能聚合物薄膜 讨论了部分工艺参 数 如溶液浓度 旋涂转速 溶剂挥发性 吸水性等对薄膜质量的影响 分析了 可能造成薄膜缺陷的原因 并对薄膜的性能如薄膜厚度 折射率 红外吸收特性 和表面轮廓进行了测试以优化旋涂工艺 3 通过磁控溅射在制得的聚合物薄膜上沉积了金属铝层 简单介绍了磁控溅 射的工作原理 4 通过光刻在溅射出的铝层上制作了微图形 铝层用90 的浓磷酸腐蚀 详 细介绍了整个工艺过程 并分析了可能导致缺陷的各种因素 以提高光刻精度 5 利用ICP 刻蚀技术在聚合物薄膜上制作了聚合物平面波导 采用氧气作为 刻蚀气体 铝层作为金属掩膜层 分析了刻蚀过程中各工艺因素的影响 利用台 阶仪对制得的聚合物波导进行了测试 并介绍了ICP 刻蚀的基本原理和我们使用 的ICP-2B 刻蚀设备的结构 本文详细介绍了用于热光光开关的聚合物薄膜平面波导的制作工艺 并通 过大量的实验对其进行了分析和优化 最终制得了适合热光光开关制作的聚合物 平面波导 为今后进一步摸索热光光开关制作工艺打下了坚实的基础 具有极高 的实用价值 关键词 集成光子学 热光效应 热光光开关 磁控溅射 光刻 ICP 刻蚀 __________________________ 本课题得到国家863 计划项目 No.2001AA312170资助 I Abstract Optical switches are not only key devices in optical interconnection, but also one of the important elements that would affect the performance of All Optical Network. Research works on the advantages of polymer’s properties and the fabrication of polymer thermo-optic switches are thus of crucial significance. This paper emphasized on the basic techniques of thermo-optical switches fabrication: polymer thin film planar waveguides fabrication. The contents of this paper are listed below: 1 The principle of the synthesis of polyimide materials was introduced, and the preparation procedure was thoroughly described. 2 Advanced polymer thin films for waveguides were prepared through spin coating. Some process parameters, as solution concentration, spin speed, volatility and vapor absorbing ability of solvents, were discussed on their effects on the qualities of the spin coated polymer thin films. Possible conditions that may lead to fault on films were analyzed, and some characters of the films as thickness, refractive index, infrared absorbing