非晶硅%2f微晶硅叠层电池中P型微晶硅材料前后界面与研究.pdf

摘要 摘要 硅薄膜材料和电池研究已经成为热点，开发低价、稳定和高效率的太阳电 池是光伏研究的目标。微晶硅薄膜电池克服了非品硅薄膜电池光致不稳定的缺 点，而且与非晶硅电池组成叠层电池．既能进一步拓展光谱响应范围，提高电 池效率和稳定性，又能更进一步降低成本。本文叙述了采用VHF—PEcvD技术， 制备P型微晶硅(uc—si：H)薄膜材料及其在微品硅太阳电池上的应用，并就非 晶硅／微晶硅叠层太阳电池进行了实验研究。主要做了以下几方面的工作： 1．P型微晶硅材料特性和沉积工艺的研究 随着氢稀释率的提高，材料从非品向微晶转变；提高VHF功率，也可使材 料晶化率增加；适当的反应气压既可提高薄膜的均匀性，又可改善薄膜的电学 特眭；硼掺杂可以提高材料的电导率，另一方面，硼又有抑制材料品化作用。 emiss{0n 采用光发刳谱技术(opt{cal spectra，0Es)研究p型微晶硅材料的 生长动力学过程。提高氢稀释和等离子体功率都可以使等离子体中原子氢的含 量增加，S州+的含量减小，siH+和原子氢的比值也减小，获得的材料品化率得 到提高：提高反应气压，等离子体中原子氢、