三级差分抽气分子束质谱装置的研制及其氮、氢等离子体的分子束质谱诊断.pdf

丁Hn 摘 要 ＼n 、7常规质谱和分子束技术结合形成的分子束质谱技术，可以在高气压下原 位、在线检测等离子体中的活性物种，其特点是取样过程中尽量减少了对等 离子体的扰动以及样品在检测过程中的碰撞。和光谱诊断相比，分子束质谱 具有可以同时检测出体系中包括离子、原子及自由基在内的各类物种、离子 物种检测灵敏度高、未知物判断相对容易等优点，在许多等离子体体系中成 为重要的诊断方法。 作者在导师的指导下，与同组的一名青年教师共同研制成功了我国第 一套具有三级涡轮分子泵差分抽气系统及阈值克离能力的分子束质谱装置， 装置的主要技术性能指标达到国际先进水平J本论文首先详细地描述了分子 束质谱的设计思想及相关的运行参数，然后介绍了如何将国产四极质谱离子 源改造成具有阈值电离功能的离化器，最后报道了用该装置对氮、氢等离子 体的实验诊断及初步的氮等离子体中物种浓度的模拟计算结果，主要工作成 果有以下几方面： ＼． 一．建立了国内首台用于较高气压活性物种诊断的分子束质谱装置。哺气体 动力学和真空设计等理论．详细计算了各差分抽气区的抽气负载，合理地配 置了涡沦分子泵及前级真空泵，使三个区的极限真空度分别可达1．5×10r4Pa、 托(取样孔径0．15mm)。装置还安装了离子偏转板、调制分子束的斩波器及 化杯中，离化杯的上下开孔用金属网罩上，以保证它的无场条件，在选耿了 合适的离子聚焦、引入极等静电参数后，离化器发射的电子束能量在8—95eV 问连续可调．电子能量发散半宽度上限为0．5eV，闽值附近电子发射的电流 强度为201aA。这些指标与国外同类器件性能大体相当，填补了我国质谱技 术的～项空白。利用该离化器测定了0，、He、h、Ar等物种从阈值开始到80eV 的相对电离截面。厂 i ＼厂 三．对氢异常辉光放电阴极鞘层区中H。(n=1—3)进行了诊断研究。准短 1日J隙氢直流异常辉光放电等离子体中，对n H，’及H。+的离子流通量与宏观参 数问关系，进行了较系统的研究。发现在气压l一5托，电流密度1—15mA／cm2 条件下，以Aston暗区为主的阴极鞘层离子流中，也+浓度几乎等于零，心+ 与H+通量比最大不超过lo％．而且随气压升高，¨逐渐减少至零。同一气压 下，放电电流在～定范围内变化只是改变总离子流的强度，而对不同离子的 相对离子流理度改变不大。对氢等离子体中所包含的主要基元物理—化学过 程进行了讨论0 四．在采用多重屏蔽、多端接地等措施后，克服了短脉冲、高电压放电引起 x。’，且N+及N：+流强随放电电压、放电频率升高而增大，随气压变化则存在 放电阴极鞘层区中正离子组份及能量分布进行测定。在所研究的实验条件下 2—7IIlA)的电子平均温度在2-4eV之间，据此，合理地确定了相关反应的反 Abstract mass beam conventional Molecularmass combining spectrometryby cail detect be to andmolecularbeam used spectrometry samplingtechniques active and high