wo3-维纳米构场效应性能研究.pdfVIP

摘要 一维纳米材料(纳米管和纳米线)以其独特的晶体结构和优异的 物理化学性质，最有希望成为构筑纳米电子学和纳米光电子学的理想 功能元器件。三氧化钨(W03)纳米线在电致变色、气敏传感器、锂 离子电池、阻变存储器和超导等方面具有显著特性，受到了广泛的关 注与研究。但对W03纳米线场效应性能的研究相对来说就很少。 本论文用简单的水热法，合成了具有良好单分散性的WO，一维 纳米结构。利用深紫外光刻等工艺，构筑了基于单根W03纳米线的“金 属／半导体／金属结构的纳米器件。运用LabVIEW编程语言，结合 2602源测单元等实验仪器实现对W03纳米线器件在不同情 Keithley 况下的电输运性能的测试。主要研究了W03纳米线器件的场效应特 性，以及电压扫描速率、退火时间、气体环境对W03纳米线器件的 场效应特性的影响。主要内容和结果如下： 1．在室温下空气中测试W03纳米线器件，得到性能良好的场效 应特性曲线。 2．在室温下空气中，采用不同的电压扫描速率测试W03纳米线 器件，发现电压扫描速率越慢，器件的漏极电流IDs越大，场效应越 明显。 3．把WO，纳米线器件在还原性气体H2中退火后，再在室温下空 气中测试，WO，纳米线器件表现出更好的场效应特性，更高的电导率， 并出现电流回滞，即忆阻性。而且退火时间越长，漏极电流IDs就越 大，场效应越明显。 4．对退火后的纳米线器件在室温下真空中测试，纳米线器件的场 效应性能依然存在，忆阻性能却消失了。 5．研究了W03纳米线器件的双向可控整流特性，得到良好的双 向可控整流特性曲线。 关键字：W03纳米线场效应管，扫描速率，退火，真空环境，双 向可控整流 ABSTRACT One—dimensional as nanostructures，such attractive blocksfor electronicand nanotubes，arebuilding assembling sincetheir optoelectronicnanosystemsuniquecrystal andchemical nanowiresextensiveattention physical properties．W03gain asanattractivecandidateforelectrochromism sensors， devices，gas lithiumion and batteries，memristors on nanowiresfieldeffecttransistorsis little． W03 relatively in Thenanowireswere a method preparedby simplehydrothermal this nanodevice paper．A wasassembledfroma nanowireUV and W03 single bydeep l