复合稀土—钼金属陶瓷阴极材料研究和应用.pdf

攒蛰 辅尊 本文利用我国富有的稀土和钼资源，制各了可替代有放射性污染的钍一钨阴极作 为磁控管阴极的复合稀土氧化物一钼(REzOz—Mo)阴极材料。利用高分辨透射／扫描电 子显微、x-射线能谱、高温XPS等先进分析方法，深入研究了复合稀土氧化物一钼 (RE：0。一Mo)阴极材料的结构、显微组织、激活过程中活性元素变化，为该阴极制备 工艺的进一步改进和实际应用提供了理论依据和实验指导。 制备含量大于15％的稀土氧化物一钼粉时宜用稀土硝酸盐和MoOz为原料实施液一 固掺杂，在还原前必须增加单独分解的工序，然后按M003的两段还原工艺进行还原 50％的粉末粒度可达到纳米级。 采用常规烧结工艺制备的三元复合稀土氧化物一钼次级发射体在降低稀土氧化物 总含量情况下，其最大次级发射系数仍高于单元稀土氧化物一钼次级发射体。采用SPS 规烧结的明显细化。最大次级发射系数达2．80，比CIP—S烧结体的最大次级发射系 数提高了14．29％，但相应的最佳激活温度提高了200。C。该阴极材料在高温激活过程 中烧结体内的稀土氧化物将向材料的表面富集，在表面形成的网状覆盖层，层厚度可 达2um。由于快速烧结的时间短，保留在烧结体中