电镀焊接组装式经微探针阵列的制作研究.pdfVIP

摘要 神经电极广泛用于神经信号的探测和神经组织的刺激，甚至用于神经修复和 神经假体，在神经科学中起着重要作用。随着神经科学的不断发展，人们对探测 神经信号工具的要求也不断变化，探测神经信号或刺激神经组织的方式不同，需 要的神经电极或探针的类型也有所不同。微电子工艺技术拓展了神经微电极的制 作途径，神经微电极从原来的金属丝和玻璃管微电极，发展到了硅基微探针和基 于高分子材料的微电极。 本文提出了一种制作神经微探针阵列的新方法，把微探针与柔性互连线结合 在一起。微探针有足够的硬度刺入神经组织，柔性互连线对神经组织的损伤小， 两者的组合有利于神经探针阵列对神经信号的长期植入探测。 微探针和柔性互连线分别制作后，创造性地采用电镀工艺把两者焊接在一 起，完成整个神经微探针器件的制作，降低了焊接微探针的难度，提高了焊接效 率，更有利于神经探针阵列的批量生产，制作成本也大大降低。 本论文的主要工作具体概括为： 1．提出微探针与柔性互连线组装制作神经微探针阵列的构想，实现了金属微 探针与柔性互连线的电镀焊接组装，制作出了神经微探针阵列。 设计制作了以聚酰亚胺为载体、铜为导线材料的柔性互连线，为了缩短互连 线的制作周期，使其更适合工业批量生产，