金刚石在twtmpm中的应用关键技术研究.pdf

摘要 摘 要 微波功率模块(MPM)是一种新型微波功率组件。它使用高效小型化行波管 (TWT)放大器作为功率器件，使用宽带低噪声固态放大器(SSA)驱动行波管，再 与行波管电子功率调节器(EPC)集成到一个小型轻重量的封装内成为一个相对独 立功能器件，MPM是当今最具发展前景的电真空器件之一。MPM技术关键之一 是行波管小型化和微波多芯片模块(MMcM)的高密度集成，T、胛小型化要求行 波管体积很小，有很高效率和良好的散热能力，散热性能不仅是决定行波管平均 输出功率的主要因素，也是直接影响着微波管工作的稳定性与可靠性的主要因素， 使用高导热率的夹持材料和采用新型阴极是改进微波器件性能的重要手段之一。 金刚石由于具有最高的热导率，最高的机械强度和硬度，低的介电常数和低的介 电损耗，极强的抗热震性和抗裂性等优良性能，低功函数，极低的阈值电场，大 电流密度、大面积范围内的均匀电子发射以及热化学性质不活泼等。将金刚石应 用于TwT慢波结构的夹持杆、场发射阴极(FEA)及MMCM的基板或中间层中， 应该对TwT的散热性能的改善，对MPM的小型化和MMCM的高密度集成有良 好的作用，对相关的关键技术开展研究具有非常重要的现实意义