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感应耦合等离子增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜
摘要
30，75，120，180W得到了氩等离子体鞘层附近区域的发射光谱。原子谱线和离
子谱线特性分析表明，在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和
较低的电子温度。改变放电气压和射频功率，对得到的光谱特性分析表明，鞘层
附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大，在低压下随气压的升高而增大。
低激发电位原子谱线强度增加迅速，高激发电位原子谱线强度增加缓慢，而离子
谱线强度增加很不明显。
通过对探针诊断和OES谱线的分析，调整预想的ICP实验系统，在射频功率
和心为反应气体分别在单晶硅和载玻片衬底上沉积制备多晶硅薄膜。
对得到的实验样品薄膜的OES、AFM、XRD等分析表明：在等离子体鞘层附
处的心+等发射光谱特征峰的出现。薄膜样品的表面形貌均匀整齐、无明显缺陷、
一致性高。实验制备出的样品薄膜厚度为1．6pro，其中单晶硅衬底的样品薄膜的X
射线衍射图在Si(11
片衬底的样品薄膜显非晶态。
关键词：多晶硅薄膜、ICP等离子体、缸稀释、等离子参数
n
fi[rlll[I[1[f[rl[1l[1(IIIf
＼1768179
Abstract
FilmICPECVD
of Thin by
PreparationPoly-·Silicon
andSolidStateElectronics
Major：Microelectronics
Ran
Name：Meng
Supervisor：Chen
Jun—fang
Abstract
Becauseofthe andothertraditional
oil，natul锄gas energypricesrisingtoday,
renewable researchhasbecomethefocusofthescientificresearch
energy-solarenergy
aroundthe the thinfilmsolarcellson
world．And，with
organizations third—generation
the orderto the
in-depthstudy,in polycrystalline
improve
siliconthinfilmsolarcellconversion makessolarcellsintothe
efficiency,and daily
work
and ofhuman of
living life，preparationhi班quality,low-costpoly-silicon,
siliconthinfilmisaninevitablesolution．
microcrystalline
In this thetec
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