精密和超精密加工技术第2版 作者 袁哲俊 哈尔滨工大 主编 第4章精密和超精密加工的机床设备.pptVIP

* 第6节 微量进给装置 三、机械结构弹性变形微量进给装置 * 第6节 微量进给装置 四、压电和电致伸缩传感器进给装置 压电和电致伸缩传感器的材料 压电材料可以将压强、振动等迅速转变为电信号，或将电信号转变为振动信号，也就是说压电材料在外电场的作用下可以产生微小变形，同时也可以将微小变形转变为电信号。 由于压电材料对于所加应力能产生可测量的电信号，因此在高智能材料系统中可用做传感器。在机器人上做触觉传感器可感知温度、压力，采用不同模式可以识别边角、棱等几何特征。同时这种材料具有热释电效应，可用作温度传感器。 压电陶瓷是一种具有能量转换功能的陶瓷，在机械力的作用下发生形变时，会引起表面带电。带电强度的大小，可以和施加电场的强度成正比，也可以成反比。因此，能够在各个领域中得到广泛应用。压电陶瓷PZT。 * 第6节 微量进给装置 电致伸缩传感器的结构和性能 两片成一对，中间通正电，两侧通负电，将很多对陶瓷片叠在一起，正极联在一起，负极联在一起。要提高电致伸缩传感器的动态特性，应减少传感器中的陶瓷片，减少传感器的电容量。 * 电致伸缩式微量进给装置的结构 第6节 微量进给装置 * 电致伸缩式微量进给装置的结构 第6节 微量进给装置 * 第7节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 一、激光在线检测系统的工作原理 超精密机床的工件的形状由机床的两坐标（z向和x向）的精密数控系统来控制工件和刀具的相对位置。精密数控系统现在采用闭环控制，即机床的运动部件的位移用装在机床内部的双频激光干涉测距系统随机精确检测，将数据反馈给精密数控系统，保证位移运动的高精度。 * 第7节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 二、MSG－325超精密机床的激光检测系统 美国HP公司生产的HP5501两坐标双频激光干涉测量系统。主轴箱作z向运动，刀架作x向运动。激光测量系统的分辨率为0.01微米，大部分激光光路采用封闭。 * 第7节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 三、三坐标测量机激光位移测量系统 * 第7节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 四、LODTM大型光学金刚石车床激光测量系统 * 第8节 机床的稳定性和减振隔振 一、机床的稳定性 1、各部件的尺寸稳定性好 1）采用尺寸稳定性好的材料制造机床部件； 2）各部件经过消除应力； 2、结构刚度高，变形小 1）结构刚度高、变形量极小，基本不影响加工精度； 2）各接触面和联接面的接触良好，接触刚度高，变形极小。 * 第8节 机床的稳定性和减振隔振 问题1：什么样的机床的稳定性好？ 问题2：怎样减少机床内部的振动？ 问题3：怎样减少外界振动对机床的影响？ * 第8节 机床的稳定性和减振隔振 二、隔振的目的与任务 隔振的目的是采用一定的隔振措施，使环境振动不致影响精密设备的正常工作。 根据隔振措施的不同，可分为积极隔振和消极隔振两种。隔振措施是针对振源采取的，称为积极隔振；隔振措施是对精密设备采取的，其目的是减小环境振动对精密设备的影响，称为消极隔振。 隔振设计的任务是在理论计算及实践的基础上，根据精密设备允许的振动量、水平度要求以及环境振动的大小，选择有效的和经济合理的隔振方案，其中包括确定隔振系统的质量、刚度、尺寸、结构型式及隔振器的材料、型式、刚度、尺寸、数量和布局等。 * 第8节 机床的稳定性和减振隔振 三、提高机床结构的抗振性和消除减少机床内的振动 1、各运动部件都经过精密动平衡，消灭或减少机床内部的振源。 2、提高机床结构的抗振性。 3、在机床结构的易振动部分，人为的加入阻尼，减小振动。 4、使用振动衰减能力强的材料制造机床的结构件。 * 第8节 机床的稳定性和减振隔振 四、隔离振源，使用隔振沟、隔振墙和 空气隔振垫以减少外界振动的影响 1、超精密机床应尽量远离振源； LODTM大型超精密车床为避免恒温水的水泵的振动的影响，水泵将恒温水打到水箱中，恒温水靠自重从水箱流到超精密机床的各个部件。 2、超精密机床采用单独地基，隔振沟、隔振墙等； LODTM车床除用带隔振沟的地基外，还将机床放置在带隔振墙的房间。 3、使用空气隔振垫 Moore公司的M－18AG车床、Pneumo公司的MSG-325车床、DTM－3机床和LODTM车床用空气隔振垫支承，高位支承将使机床的抗振性提高，增加机床的稳定性。 * 第9节 减少热变形和恒温控制 问题1：减少机床热变形的措施？ 问题2：LODTM车床是怎样进行恒温控制的？ * 第9节 减少热变形和恒温控制 一、减小机床热变形的措施 1）尽量减少机床中的热源； 2）采用热膨胀系数小的材料制造机床部件； 3）结构合理化使在同样的温度变化条件下，机床的热变形最小； 4）使机床长期处在热平衡状