玻璃基双层掩埋光波导的制备与表征.pdfVIP

摘 要 采用离子交换技术制备的玻璃光波导器件具有制作成本低廉，传输损耗低， 易于掺杂高浓度的稀土离子，与光纤匹配度高，环境稳定性好，以及容易在系统 中集成等优点，适合于大批量、低成本集成光学器件的制作。传统的Ag+／Na+离 子交换技术得到了人们广泛的研究，成功应用于多种器件的研制与开发，如波分 复用器、光功率分束器、光放大器、激光器及光传感器等，并广泛应用与光通信 与光传感领域。 随着技术的发展，对器件的集成度要求越来越高。为了在同一块芯片上集成 更多的器件或更多的功能，一般有两种不同的途径：一是增大折射率差减小波导 尺寸，另一个就是本文所说的基于多层器件的实现。由于离子交换的特性，该技 术能很好的适用于三维集成。然而要集成不同光学器件层，需要阻止层与层之间 的光耦合，可以通过上下两层波导充分分隔实现。 本文通过分析经典的离子交换模型，建立了离子交换三维集成的简易模型。 通过对离子交换三维集成的模拟仿真，验证了多层掩埋式波导的可行性，并分析 了波导之间的相互影响。然后采用Ag+／Na+热离子交换和电场辅助离子扩散技术 在光学玻璃基片上顺次制作了两层掩埋式光波导，形成双层波导。对双层光波导 的横截面结构进行了观察，并测试了各层波导的损耗特性．对横截面各波导尺寸