先进制造技术-超精密研磨PPT.ppt

* 超精密研磨加工技术 超精密研磨技术的研究现状 1 超精密研磨的加工机理 2 超精密研磨新技术 3 总结和展望 4 近年来,超精密加工已成为国家科学技术发展水平的重要标志。纳米技术的出现促使超精密加工向其极限加工精度——原子级加工进行挑战。 超精密研磨由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点,故它可以实现纳米级甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分。 一、超精密研磨的研究现状 目前各种超精密加工方法的精度范围 超精密加工目前包括4 个领域： （1） 超精密切削加工 （2） 超精密磨削加工 （3） 超精密抛光加工 （4） 超精密特种加工 一、超精密研磨的研究现状 研磨加工面形范围很广，人们针对不同面形的工件探讨了不同的加工方法。? 杉浦修等人研究了采用磁力研磨法加工圆柱面的研磨机取得了较好的效果。 日本的Toshiroh Karaki-dog等人还研究了双面研磨加工工艺，为双面研磨的应用创造了良好的条件。 浙江工业大学的袁巨龙等人对氮化硅陶瓷球的研磨加工展开了深入的研究,取得了很好的成果。 哈尔滨工业大学的潘洪平等提出超声振动研磨法，与传统的研磨相比,加工效率可提高2~3倍。 山东理工大学的肖作义从理论上首次提出采用提高磁场强度和磁场梯度的方法来提高加工的效率和质量。 一、超精密研磨的研究现状 超精密研磨抛光的主要工艺因素 项目 内容 研磨法 加工方式 加工运动 驱动方式 单面研磨、双面研磨 旋转、往复摆动 机械驱动、从动。。。。 研具 材料 形状 表面状态 硬质、软质 平面、球面、非球面 有槽、有空、无槽 磨粒 种类 材质、形状 粒径 金属氧化物、氮化物 硬度、韧性、形状 几十微米至几十纳米 加工液 水质 油质 酸性~碱性、界面活性剂 界面活性剂 加工参数 研磨速度 （1~100）m/min 研磨压力 0.01~30N/cm2 研磨时间 ~10h 环境 温度 室温 尘埃 洁净室 研磨速度、研磨压力和研磨液浓度是研磨加工的主要工艺参数。 在研磨机、研具和磨料选定的条件下，这些工艺参数的确定是保证加工质量和加工效率的关键。 一、超精密研磨的研究现状 对于硬脆材料的研磨加工, 一部分磨粒由于研磨压力的作用,使之压入研磨盘中,用露出的尖端刻划工件表面,进行微切削加工; 另一部分磨粒则在工件与研磨盘之间发生滚动,产生滚轧效果,使工件表面产生微裂纹,裂纹扩展后使工件表面产生脆性崩碎,形成切屑,达到表面去除的目的。 磨料作用机理模型 二、超精密研磨的加工机理 单颗磨粒的接触模型 将磨粒形状简化为圆锥体其单颗磨粒的切削深度 可用式(1)表示。 式中：F为单个磨粒承受的压力，N； 为简化圆锥磨粒的半顶角，( )； 为工件材料的屈服极限,MPa。 ………………… （1） 如 =60 ， =2000MPa,F= N,则 =0.13 每颗磨粒载荷F= N时,分布为600~6000颗磨粒/cm2,载荷相当于0.6~6N,如果将研磨压力控制在这一范围,就可得到小于0.13 的切削深度，所以超精密研磨的切除层是极小的。 二、超精密研磨的加工机理 压入形成的裂纹（荷重98N） 如图所示为玻璃和硅表面裂纹的显微照片。 压入变形破坏区的模型 上图所示是由压入所引起的变形破坏范围的模型。图中a为压痕半径,Rs为表面上裂纹长度, c为弹性变形范围的边界。 根据这一模型,就可以解释研磨过程中不仅有带裂纹的研磨痕,而且还掺杂一些由塑性变形而引起的研磨痕。 二、超精密研磨的加工机理 抛光机理模型 二、超精密研磨的加工机理 抛光同属于超精密研磨，但比研磨获得更高的精度。 抛光是以磨粒的微小塑性切削生成切屑为主体而进行的。 切除过程中局部的高温、高压而使工件与磨粒、加工液及抛光盘之间发生物理化学作用并产生反应生成物。又由于它们之间的力学作用, 生成物不断被除去而使表面平滑化。 抛光机理 超精密 研磨新技术 无损伤抛光 非接触式抛光 磁场辅助抛光 曲面超精密抛光 界面反应抛光 机械微量去除抛光 化学抛光 … 弹性发射加工 动压浮离抛光 浮动抛光 … 机械化学抛光 水合抛光 胶态SiO2抛光 … 磁流体抛光 磁悬浮抛光 磁磨料抛光 电泳抛光 … 气囊抛光