2010检测技术-第5章 电容式式传感器.ppt

传感器与检测技术 第五章　 电容式传感器 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。 广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面（料位）、成份含量等方面的测量。 特点： 结构简单、体积小、分辨率高； 可实现非接触式测量； 动态响应好； 能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作； 电容量小，功率小，输出阻抗高，负载能力差，易受外界干扰产生不稳定现象。 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。 可测量位移精度：0.01微米到0.1微米。 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 变极距型： 变面积型： 8、湿度测量 5.2电容传感器的应用 2、电容式应变仪 曲率不同的两拱弧薄板间安装两平板电容器，当拱弧的两固定点受压缩变形时，平板电容传感器两极板间距改变，从而电容量改变，应变?　　　 ?C 5.2电容传感器的应用 3、电容式荷重传感器 在弹性钢板内平行圆孔间设置平行板电容器，当钢板受压力变形时，平板电容传感器两极板间距改变，从而电容量改变，主要用于重负载的测量。 5.2电容传感器的应用 4、电容式振动、位移测量仪 被测工件有振动或位移，与固定电极金属板间距离改变，从而电容量改变。 5.2电容传感器的应用 5、电容测厚仪 轧制金属厚度在线监测 5.2电容传感器的应用 6、电容式物位计 液位检测 料位检测 5.2电容传感器的应用 7、电容转速计及电容传声器 5.2电容传感器的应用 湿敏电容一般用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。 当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。 * * 主讲：刘宇 电容器基础知识 平板电容器 柱形电容器 思考：两个平板电容C1，C2串联及并联后的电容值各是多少？ 应用领域及特点 电容传感器的理想公式： ε d A ε：电容极板间介质的介电常数，ε=ε0·εr，ε0为真空介电常 数，εr为极板间介质相对介电常数； A：两平行板所覆盖的面积； d：两平行板之间的距离。 固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器→变面积型、变间隙型、和变介电常数型。 ε d A 改变A、d、ε三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C 改变。 角位移 板状 筒形 5.1.1变面积型电容传感器 角位移式电容传感器 当动片角位移 ? 时，覆盖面积S就改变 当 ? = 0时： 当 ? ? 0时： 这种类型的传感器电容 与角位移?成线性关系 灵敏度： 1、角位移型 直线位移式电容传感器 初始电容： 当动极板移动?x： 灵敏度： 2直线位移型 本图也是变面积式电容传感器，是右下图的变形 其灵敏度为单极板的n倍。 5.1.2变介质型电容传感器 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位，测量厚度，也可测量位移。 ε1：液体介质的介电常数 ε: 空气的介电常数； H : 电极板的总长度； d、D：电极板的内、外径； 电容量C与位移h呈线性关系! 5.1电容传感器的工作原理 5.1.2变介质型电容传感器 可用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织器、木材或煤等非导电固体介质的湿度。 5.1.3 变极距型电容传感器 初始电容： 1-动极板 2-定极板 当动极板1移动向定极板2移动x，其电容值CX为： 这里电容量C与X不是线性关系 当 时， 则： 此时输入输出呈线性关系，但量程缩小很多 变极距型电容式传感