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                SiMgMgSiSiMgLTDepositSiMgSiAnnealtoRTOR.PDF
                    
  Mg LT Deposit 
  Si 
                                                                 17 
         Anneal to RT 
                                                            17    14 
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Mg Si                                                      14 
   2                                                               10 
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  Si                                                      11        8 
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   OR                                                   9              6 
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  Mg 
  Mg2Si 
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  Si                                                    KE (eV) 
                                                                     Mg 
Mg2Si 
                                               OR 
  Si                                                                 Mg2Si 
                                                                     Si 
Add Mg at low T                                          Add Mg at low T 
                                                              Mg 
 Mg2Si 
                                          OR 
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                                                              Si 
          10 Normalized                                              10 Scd 
                                                                     8+2 N 
   24000                                                             6+4 N 
                                                                     4+6 N 
                         
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