微空心阴极放电地数值仿真研究.pdf

摘要 摘要 微空心阴极放电是一种新型的放电形式，一般由任意形状的阳极和两 个相互平行的阴极构成。它通过缩小空心阴极的尺寸到微米量级实现高气 压甚至大气压放电，能够在很低的维持电压下产生高浓度的高能电子、强 烈的阴极溅射、强烈的准分子辐射和大量的紫外光谱，在材料表面改性、 薄膜沉积、杀菌消毒、等离子体显示、微型直流准分子激光器和电热式微 推力器等领域应用广泛。 高气压微放电产生的微等离子体由于放电体积小，等离子体密度高， 对实验诊断仪器的尺寸和精度要求很高，常规的等离子体诊断技术不容易 实施，数值仿真成为研究放电演变规律的重要方法。常用的仿真模型包括 蒙特卡罗模型、流体模型、动力学模型、等效电路模型以及它们的混合模 型。 本文选用OOPICPro粒子模拟软件研究了空心阴极类结构的初始放电 过程和扩展放电过程：首先再现空心阴极鞘层的形成过程和空心阴极效应 的建立过程，说明空心阴极效应的形成是虚阳极移动和扩展的结果；然后 再现等离子体区在微薄空心阴极外部的扩展过程，说明放电产生的等离子 体可能扩散到阴极外部空间，微空心阴极放电的边界主导效应比空心阴极 放电更明显。 采用C