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抽气时间与压强的计算 抽气时间与压强的计算 真空技术基本方程 亚稳态流动条件 泵的有效抽速 真空系统抽气方程 抽气时间计算 低真空抽气时间计算　 高真空抽气时间计算 抽气过程中容器内压强的计算 　 真空技术基本方程 真空系统最主要的性能参数： 极限真空度：是指在没有外加负荷的情况下，经过足够长时间的抽气后，系统所能达到的最低压力。 有效抽速：是指在容器出口处的压力下，单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速，也取决于真空系统管路对气体的导通性能，即所说的流导。 抽气时间：是指从大气压抽空到所需压强为止的时间。 真空系统抽气的亚稳态流动条件： 真空系统在抽到所需要的真空度之前，都处于压强逐渐降低的过程中，即系统内的压力随时间变化。这一过程属于非稳态过程，其中的气体流动属于非稳定流动。当抽除的气体流量等于系统中的放气流量时，系统内各处的压强不在变化，即稳定流动。 计算抽气时间一般指从大气压开始抽空到所需压强为止的时间，这一过程属于非稳定流动过程，需要求解复杂的微分方程，比较困难，因此人们把满足一定条件的非稳定流动近似看做为稳定流动来计算，称为亚稳态流动。 如果真空系统满足以下两个条件，抽气过程为亚稳定流动的过程。 （1）容器的容积大于管道的容积。 （2）抽气过程进行的很慢。 泵的有效抽速 如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速，用Sp表示真空泵的抽速，C表示真空容器出口到真空泵入口之间管路的流导，则有 有效抽速小于泵的抽速，也小于管道的流导 如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp，则Sp /C的值远小于1，此时真空系统对容器的有效抽速Se≈ Sp 。这就是说为了充分发挥泵对容器的抽气作用，在设计真空系统管路时，应使管路的流导尽可能大一些。因此真空管路应该粗而短，切不可细而长。这是设计连接管道时的一条重要原则。 如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp，则C/ Sp的值远小于1，此时真空系统对容器的有效抽速Se≈C，这就是说,在这种情况下,选择多大的泵都没有用，都不能提高泵对容器的有效抽速。 真空系统抽气方程 真空泵的气体负荷主要来自真空室内的各种气体，包括： (1)被抽容器内原有的空间大气。若容器的容积为V m3，抽气初始压强为P0 Pa，则容器内原有的空间大气量为VP0 Pa·m3； (2)被抽容器被抽空后各种材料的放气。单位时间内的放气流量可以用Qf Pa·m3/s来示； 实验表明，材料表面单位时间内单位表面积的放气率q可以用下面的经验公式来计算 不考虑管道影响而考虑漏放气时抽气时间 的计算： 假定漏放气流量Q0为常数： 则Q等于0时系统抽到极限真空Pu 式中：Pu是真空系统所能达到的极限真空度，Pa；其余符号的意义同前。 (3)蒸发：液体或固体蒸发的气体流量Qz，Pa·m3/s 。固体和液体都有饱和蒸汽压，温度一定时，材料的饱和蒸汽压是一定的，因而蒸发气流量就是常量 (4)表面解吸：释气，放气。被抽容器被抽空后各种材料的放气。单位时间内的放气流量可以用Qf Pa·m3/s来示； 实验表明，材料表面单位时间内单位表面积的放气率q可以用下面的经验公式来计算 式中：q1是抽空1h后放气速率，Pa·m3/(m2·s)；q0是抽空时间无限长之后材料表面的放气速率，Pa·m3/(m2·s)；t是抽空时间，h；β是与材料种类及其预处理状况有关的放气时间指数，值在0.5～2之间变化。真空室内暴露于真空下的构件表面可能有多种材料，总的表面放气流量Qf为: 式中：Ai是第i种材料暴露在真空下的表面积，m2；q1i是第i种材料在抽空1h后的表面放气速率， Pa·m3/(m2·s)；βi是第i种材料的放气时间指数；Q0是抽气时间无限长后总的放气流量， Pa·m3/s；t是抽空时间，h。 谢 谢 大 家！ * * * * * 东北大学 《真空系统设计》之四 如果知道泵的抽速Sp和管路的流导C，就可以计算出系统对容器有效抽速，这个方程被称为真空技术基本方程。 　式中：q1是抽空1h后放气速率，Pa·m3/(m2·s)；q0是抽空时间无限长之后材料表面的放气速率，Pa·m3/(m2·s)；t是抽空时间，h；是与材料种类及其预处理状况有关的放气时间指数，值在0.5～2之间变化。真空室内暴露于真空下的构件表面可能有多种材料，总的表面放气流量Qf为: 式中：Ai是第i种材料暴露在真空下的表面积，m2；q1i是第i种材料在抽空1h后的表面放气速率， Pa·m3/(m2·s)；βi是第i种材料的放气时间指数