400mm薄镜面主动光学实验系统.pdfVIP

第 17卷 第 9期 光学 精密工程 Vo1．17 No．9 2009年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sep．2009 文章编号 1004—924X(2009 400mm薄镜面主动光学实验系统 李宏壮 ，林旭东 ，刘欣悦 ，王富国 ，杨 飞 ，明 名 ，王建立 ，韩昌元 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要 ：采用 400mill口径 ，12Film厚的球面反射镜进行 了主动光学实验。实验镜支撑结构 由背部 l2个主动支撑点和 3 个 固定支撑点组成。主动支撑点用压 电陶瓷促动器和压力传感器组成力促动器 ，用于控制实验镜面形 ；固定支撑点用于 控制实验镜的定位。实验中通过干涉仪测试镜面面形 。分别测量 出反射镜在单独一个促动器施加单位作用力前后 的镜 面面形 ，求 出这两个面形之差得到该促动器的响应函数 ，由各促动器 的响应函数组成 刚度矩阵，然后用 阻尼最小二乘法 计算各支撑点的校正力 。最后 ，通过 PID算法 闭环控制各促动器施加 力的过 程。经过 3次校正，将初始状态 的 1．22RMs的面形误差校正到 0．12XRMS，接近 了镜面加工的 0．1XRMS面形精度 ，说 明所采用 的主动校正算法和过程正 确 可行 。 关 键 词 ：望远镜 ；反射镜 ；主动光学；主动支撑 ；促动器；阻尼最小二乘法 中图分类号 ：TH703：TH743 文献标 识码 ：A Experimentsystem of400mm thin—m irroractiveoptics LIHong—zhuang ，LinXudong’。，LIU Xin—yue ，W ANG Fu—guo， YANG Fei，M ING Ming ，WANG Jian—li，HAN Chang—yuan (I．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Anactiveopticalexperimentwascarriedoutby am irrorwithadiameterof400mm anda thicknessof12mm ．Thesupportconstruction ofthem irrorincluded 12activesupportsand 3fixed supports，inwhichtheactivesupportwasimplementedbyforceactuatorsconsisting ofpiezoelectric ceramicactuatorsandloadeells．Theactivesupportswereusedforcontrollingthesurfaceofthemir— ror。andthefixedpointswereusedforpositioningthem irror．Intheexperiment，them irrorsurface wastestedbyaZygointerferometer．Thesurfaceerrorofthemirrorwastestedbeforeandafteranac— tuatorexertedaunitforceonitlonely，thenthedifferencebetweenthetwosurfaceerrorswascalculat— edtobeastheresponsefunctionoftheactuator，andtheresponsefunctionsOfalltheactuatorsmade upastiffnessmatrix．Afterwards，thedampl