fecunbsbsir复合薄膜在压应力下的力敏特性研究.pdf

摘要 摘要 大型装备及重点工程领域常需对壳体、管道等曲面异构组件间的连接状态、 使用过程中的受力情况进行实时检测，以准确掌握关键材料及其部件的使用状 态、库存性能等重要信息，从而使曲面异构组件间的接触应力敏感性能的测量 成为力传感器领域的重要课题。 本文以FeCuNbSiB软磁粉为功能填充粒子，以三元嵌段有规共聚硅橡胶为 基体材料，采用机械共混和精密铸压热成型方法制各了FeCuNbSiB软磁粉／硅橡 胶柔性力敏复合薄膜(简称“FeCuNbSiB／SiR复合薄膜”)，较系统地研究了 FecuNbSiB／SiR复合薄膜的制备工艺、微观结构、理化特性等；并循序渐进地设 计和开发了FeC心而SiB／SiR复合薄膜在不同加载方式下的力敏特性测试技术和 力敏性能表征方法。在此基础上系统研究了FeCuNbSiB／SiR复合薄膜在不同加 载方式下的力敏特性，经大量实验，优化出具有优良力敏性能的FeCuNbSiB／SiR 复合薄膜，并针对复合薄膜特有的力敏特性，初步探讨了FeCuNbSiB／SiR复合 薄膜的力敏机制；最后，依据优化的力敏薄膜，试制出了柔性接触应力传感器 原理样机。本文研究主要取得以下结果： (1)在复合薄膜制备方面：研究和开发了以FeCuNbSiB软磁粉为功能填充 粒子、以三元嵌段有规共聚硅橡胶为基体的FeCuNbSiB／SiR力敏复合薄膜，实 509m-20009m。研究了软磁粉成分、相结构、粉体粒度及表面性质对复合薄膜 物化性能的影响，并对橡胶配方进行优化，解决了软磁粉在橡胶中的均匀分散、 橡胶与软磁粉界面控制、复合薄膜厚度控制等问题。研究表明，FeCuNbSiB／SiR 复合薄膜的物理机械性能达到了柔性力敏传感器要求，其拉伸强度4．73MPa、扯 断伸长率168％、压缩永久变形量3．28％、回弹性51．8％、绍尔A硬度75度。 (2)在复合薄膜力敏特性测试和性能表征方面：针对压应力条件下复合薄膜 的应力阻抗测试问题，循序渐进地设计开发了静态加载、动态加载、环境温度 湿度体系下的加载、静态与动态加载体系下的应力阻抗测试系统，有效地消除 了测试系统的不稳定、接触误差等。经过多次反复实验，最终确定“LCR测试+ 感抗补偿分析”的方法对复合薄膜的力敏特性进行测试，并用z．o标准等效曲线 表征复合薄膜的力敏特性，用Z．o标准等效曲线的标准偏差衡量复合薄膜的力敏 摘要 稳定性，用应力阻抗效应SI％表征复合薄膜力敏灵敏度。优化定型后的复合薄膜 试验机、感抗补偿电路等组成，复合薄膜体系采用电容方式连接。测试表征条 件定型为：复合薄膜标准规格20mmx20mm、测试频率lkHz、压应力动态加载／ 卸载速度不大于0．5mm／min、压应力保持加载时间120s。 (3)在复合薄膜力敏特性研究方面：研究表明，在测试频率小于100kHz范 围内复合薄膜具有良好的力敏特性。随测试频率升高，复合薄膜的力敏敏感度 下降；随着压应力增大，复合薄膜的阻抗值下降，力敏敏感度也随之下降。在 O．1MPa～0．54MPa压应力范围内，复合薄膜力敏敏感度增幅最大，且呈线性变化； 当压应力在O．54MPa～1．5MPa范围内，复合薄膜力敏敏感度增幅渐趋平缓。复合 薄膜的厚度、软磁粉粒径、含量及其分散均匀性是影响其力敏特性的主要因素， 且上述各因素间存在较强的关联性，其最佳条件的优选需结合软磁粉及其复合 薄膜制备工艺的难易程度、可操作性、质量稳定性，特别是实际应用对复合薄 膜厚度的限制条件进行综合考虑。通过对复合薄膜力敏特性内外影响因素的优 化，复合薄膜具有较佳力敏特性所具备的条件为：测试频率小于lOOkHz，压应 温度130C～500C。 具有优异的应力敏感性能，在连续加／卸载速率不大于0．5mm／min或保压条件下， 测试频率lkHz、压应力0．2MPa～I．0MPa范围内具有良好的力敏稳定性和灵敏性。 的压应力范围内复合薄膜的力敏特性更优。 (4)在复合薄膜力敏机制研究方面：通过对复合薄膜的阻抗值Z及分量L、 C、R和相位角0的频谱特性分析，复合薄膜在交流测试电路中呈现压．容和压． 阻特征。整体测试系统的等效电路可以看做是复合薄膜的总电容C与总电阻R 并联后再与电路中的电感L串联的结构。影响复合薄膜压．容和压．阻特性的关键 因素是复合薄膜模量和粉体含量。研究还发现，该柔性力敏复合薄膜在测试频 率为50kHz时具有较为显著的交流阻抗双逾渗特性。 柔性力敏复合薄膜的封装；复合薄膜进行封装后其