n-tiol;,2gt;和aln-tiolt;,2gt;薄膜的磁控溅射法制备和亲水性能的研究.pdfVIP

中文摘要 中文摘要 Ti02具有光致亲水性能，即在紫外光照下，水滴与Ti02薄膜的接触角很快变 为零。这一特性使Ti02具有自洁去污、防水雾等功能，具有广阔的应用前景，因 而受到广泛关注。如何改善Ti02薄膜的亲水性能，使其具有可见光活性，并使亲 水性保持较长的时间，成为近年来的研究热点。本研究的目的在于探索采用磁控 善Ti02的亲水性能。主要工作包括： (1)用TiN陶瓷靶，以02、Ar为工作气体，采用射频反应磁控溅射法制备 N．Ti02薄膜。用XRD、SEM、XPS、UV．Vis、CA(contact angle接触角)等分 析测试手段研究其结构和性能。 研究结果表明：部分N进入了Ti02晶格，取代O，形成Ti—N键，产生了额外 的氧空位；N掺杂使Ti02薄膜的吸收边发生了红移；N掺杂对Ti02薄膜光诱导亲 水性能起了促进作用。 (2)用Al／Ti金属镶嵌靶，以02、N2和Ar为工作气体，采用直流反应磁控溅 影响；用SEM观察掺杂对薄膜表面形貌的影响；通过XPS钡IJ试分析掺杂对薄膜表 陷情况；用紫外一可见吸收光谱研究掺杂对薄膜光吸收的影响；用接触角测试评 价薄膜的亲水性能。 得出以下结论：Al掺杂使Ti02晶胞体积变小，N掺杂使之变大；Al、N双掺 貌：Al掺杂和N掺杂都起到了抑制晶粒长大的作用；Al掺杂使薄膜表面更光滑致 密；N掺杂使之更粗糙疏松；与纯Ti02薄膜相比，Al、N双掺杂Ti02薄膜具有更 粗糙疏松的表面；部分Al和N进入了Ti02的晶格，分别取代了Ti和O，使之产生 了额外的氧空位；掺杂后Ti02薄膜的吸收边发生了红移，吸收边大小依次为： 增加了对可见光的吸收，改善了Ti02薄膜的亲水性能； 关键词：二氧化钛；AI／N．Ti02薄膜；N．Zi02薄膜；亲水；氧空位 Abstract with involvesa of awater Ti02 uniqueaspectphoto-inducedhydrophilicity contactof00．This hasbeen tovarious as angle phenomenonapplied items，such titesand min-0r．Recent havefocussedonthe self-cleaninganti-fogging investigations of of undervisible aimofthis Ti02 improvementhydrophilicproperty light．The isto and filmswithexcellent investigation N··Ti02 AI／N·-Ti02 hydrophilic explore aleincludedinthiswork： propertypreparedmagnetronsputtering．Thefollowings by filmwas RFreaction TiN (1)N-Ti02 by magnetron prepare