srtiol;,3gt;铁电薄膜同质外延生长初期的理论研究.pdfVIP

摘要 SrTi03铁电薄膜同质外延生长初期的理论研究 专业：材料学 研究生：王佩怡 指导教师：杨春、李来才 摘要本论文选择了密度泛函理论的第一性原理方法，对SrTi03铁电薄膜同 Studio 4．0中的 质外延生长初期进行了理论模拟研究。所有计算均采用Materials ’ DMol3软件包。 Ti、O原子的微观反应过程及粒子形态，是SrTi03薄膜生长初期形成的关键过程。 我们研究了sr、Ti、O原子在真空中的优先反应过程和形态，计算研究了SrO、 Ti02和SrTi03分子形成的反应机理，获得了相应的中间体和过渡态及反应活化 要粒子形态。 法优化了表面，得到弛豫后稳定的表面。在以上研究的基础上，我们用从头计 算分子动力学方法分别模拟了SrO和Ti02分子在弛豫后的2种终止结构的 表面吸附过程中的运动轨迹及其在每个时刻的能量，并计算了相应阶段的吸附 能。 分子优先吸附生长；而在SrO．SrTi03(1 长。如此就形成了SrO层与Ti02层交替循环层状生长，与相关实验研究一致。 摘要 层的Ti结合，SrO分子中的S卜旬键断裂。 弱的化学作用。 吸附构型可以看出，最终的吸附模型跟SrTi03晶胞的部分结构很相似。可推出 状生长。 关键词：薄膜生长；SrTi03；反应机理；活化能；吸附；从头计算动力学 Abstract Theoreticalof ferroelectricthinfilms SrTi03 study initial homoepitaxialgrowth Science Major：Material Graduate ChunandLilai--cai Student=WangPei-·yiSupervisor：ProfessorYang IIlthis of ferroelectricthinfilmsinitial thesis，theoreticalSrTi03 study have a based been growth investigatedusingfirst-principlesupon homoepitaxial by the Functional calculationsareusedthe of Density Theory．All DMol’package MaterialsStudio4．0． and statesof is thatthemicrocosmicreaction First，it